듀얼 프리즘 초폭 연속 스펙트럼 단색기

고치를 깨고 나오다/DPM100듀얼 프리즘 초폭 연속 스펙트럼 단색기

이 표면 광전압 (SPV), 광전 흐름 스펙트럼 (PCS), 광전자 방출 스펙트럼 (PES), 광학 투사 스펙트럼 (OTS) 등을 포함한 분광학 기술 - 반도체 결함 상태를 감지하는 새로운 표준이되고 있습니다.그러나 전통적인 단색기는 스펙트럼 범위와 잡산광 간섭에 국한되어 연속적이고 고정밀도의 측정을 실현하기 어려우며, 이는 어느 정도 관련 기술의 응용 잠재력을 제약한다.이제 이 한계는 돌파되었습니다. Helmholtz-Zentrum 팀 (베를린) 이 Freiberg Instruments와 공동으로 개발했습니다.DPM100은듀얼 프리즘 초폭 연속 스펙트럼 단색기170-3100nm의 초광폭 스펙트럼 범위와 8개의 수량급 잡산광 억제 장점으로 분광학 응용, 특히 표면광전압 (Surface Photovoltage, SPV) 기술에 새로운 차원을 열었다.

신제품 소개:

전통적인 광학 시스템은 항상 반사경에 의존하여 광로를 바꾸지만, 반사경은 정밀하게 교정해야 하고 진동의 영향을 받기 쉽다.DPM100은 미러리스 용융 쿼츠 듀얼 프리즘 프레임을 기반으로 설계된 단색기로, 프리즘의 전체 내부 반사 특성을 통해 광로 전환을 직접 실현하고 외부 반사경의 사용을 줄인다.그림 1과 같이 근적외선(0.4 eV)에서 심자외선(7.3 eV)에 이르는 연속 측정을 구현합니다.그 중요한 혁신은 광학 레일이 안내하는 듀얼 프리즘 회전 시스템과 적응형 초점 렌즈 설계로 UV 영역 해상도가 7meV로 낮은 것과 같이 스펙트럼 해상도가 meV급에 도달하도록 보장하는 데 있다.고감도 광전 측정에 최적화된 이 컴팩트형 기기는 SPV 등에 이상적인 광원이다.

그림 1: DPM100 초폭 연속 스펙트럼 단색기 개념 설계, 듀얼 프리즘 구조로 넓은 스펙트럼 연속 커버리지 실현

제품 개요:

DPM100의 출현은 스펙트럼 범위와 잡산광 방면에서 전통적인 단색기의 한계를 성공적으로 타파하고 스펙트럼학 기술의 응용에 뚜렷한 향상을 가져왔다.0.4-7.3 eV의 초광폭 스펙트럼을 커버하여 적외선에서 심자외선 대역까지 연속적으로 측정할 수 있으며 잡산광 억제 능력은 8개의 수량급에 달하며 고해상도와 고효율 측정의 장점도 갖추고 있다.이는 표면광전압, 광격발순간전류스펙트럼, 자외선광전자스펙트럼, 광발광스펙트럼 등 스펙트럼학기술에 있어서 모두 강유력한 버팀목으로서 특히 SPV기술에서 두드러지게 표현되여 반도체결함상태검측 등 장면의 수요를 더욱 잘 만족시킬수 있으며 이런 스펙트럼학응용의 깊이있는 전개에 실용적이고 믿음직한 도구를 제공해주었다.

제품 이점:

1. 초폭 연속 스펙트럼

커버 재료 밴드 갭 0.4-7.3 eV (대응 파장 범위: 3100-170 nm) 는 적외선에서 심자외선까지의 전체 주파수 대역 스펙트럼 측정을 원활하게 지원하며 그림 2와 같이 래스터 또는 필터를 전환할 필요가 없습니다.이 구조는 울타리로 인한 스펙트럼 단층을 전환하는 것을 피할 수 있으며, 전통적인 설비는 자외선-가시광선 교차점에서 오차가 발생할 수 있다.초광폭 스펙트럼 범위는 SiC(3.3eV), GaO(4.8eV) 및 금강석(5.5eV) 등 초광폭 금대 재료의 결함 전체 스펙트럼 분석에 적합하다.

그림 2: 단색기 전체 대역 출력 연속 스펙트럼 (0.4-7.3 eV) 과 강도 관계

2. 무거울 용융 석영 쌍프리즘 구조

질소 청소를 일치시키고 반사경 도금 손상으로 인한 심자외선 감쇠를 제거합니다. 이 설계는 170-3100nm 전체 주파수 대역의 에너지 안정성 > 95% 를 보장하지만 기존 설비는 250nm 미만의 주파수 대역에서 스펙트럼 손실이 60% 를 초과합니다.

3. 고급 잡산광 억제 능력

8개 이상의 수량급 억제능력 (실측 잡산광은 100fA로 낮음) 을 확보하여 스펙트럼신호가 순수하고 미약한 결함상태를 정확하게 검측한다.

4. 높은 감도와 효율

210dB 광범위 탐지기 (전문 * 기술 DE102023003991.8) 와 함께 fA-급 미약한 전류를 측정할 수 있으며 단일 측정 시간은 1~7초밖에 걸리지 않아 실험 효율을 대폭 향상시킬 수 있다.