국산 수동 고온 진공 탐침대 수정원 검측 기민 테스트

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개요

국산 수동 고온 진공 탐침대 웨이퍼 검측 기민 테스트, 전자 밸브 및 유량계 설치용 인터페이스 예약 가능, 기타 기체 충전 사용, 온도 범위 77.15K ~ 673.15K (-196도 ~ 400도)

제품 정보

국산 수동 고온 진공 탐침대 수정원 검측 기민 테스트

고저온 탐침대 시스템은 ≤ 10Pa에 도달하면 응로나 결상이 없는 저온 테스트를 할 수 있다.엔트리 레벨 구성을 선택한 사용자는 양극 회전식 기계식 펌프를 선택하면 목표 진공도에 도달할 수 있어 설비의 구성 예산을 줄일 수 있다.진공도가 더 높은 사용자는 분자 펌프 그룹을 사용하여 시스템을 진공으로 추출할 수 있습니다.저온 탐침대 시스템 최대 10^-3Pa. 또한 테스트 요구 사항을 충족하기 위해 진공도가 높은 펌프 그룹을 선택할 수 있습니다.

펌프의 진동을 줄이기 위해 사용자를 위한 방진기도 설계했습니다.지감쇠펌프조가 작업할 때 발생하는 진동을 감소시켜 시스템의 안정을 확보하고 탐침의 표류를 감소시킨다。

国产手动高温真空探针台晶圆检测气敏测试

국산 수동 고온 진공 탐침대 수정원 검측 기민 테스트‍

진공강체
유형	고온형 실온400℃	고저온형 실온 도착400℃ 실온 도착-196℃
캐비티 재질	304스테인리스강 6061알루미늄 합금 옵션
캐비티 내부 크기	127mmX57mmX20mm
캐비티 외부 크기	150mmX80mmX32mm
캐비티 무게	스테인리스 재질 약1.5KG 알루미늄 재질 약0.5KG
캐비티 상 윈도우 크기	Φ42mm(옵션으로 윈도우와 샘플 사이의 거리를 줄이기 위해 오목 윈도우 제공)
강체 흡기구	KF16는플랜지 (나머지 인터페이스 사양은 변환 가능)
캐비티 진공 측정구	KF16는플랜지 (나머지 인터페이스 사양은 변환 가능)
강체 흡기구	6mm비틀어 또는 6mm빨리 꽂아
캐비티 냉각 방식	강체수냉+상부 덮개 공기 냉각
강체 수냉 인터페이스
강체 정압	≤0.05MPa의
강체 진공도	기계펌프≤5Pa（5분) 분자펌프≤5E-3Pa（30분)
견본대
견본대 재질	스테인리스강 은동합금 순은 덩어리	은동합금 순은 덩어리
견본대 크기	26x26mm
견본대 가열 방식	저항가열	저항가열 액체 질소 냉각
견본대-윈도우 거리	11mm(선택 사항으로 윈도우와 견본 사이의 거리를 줄일 수 있음6mm）
샘플대 온도 측정 센서	PT100은형 열 저항
샘플대 온도	실온 도착400℃	실온 400까지℃ 실온 도착-196℃
샘플대 온도 측정 오차	±0.5℃
샘플대 온도 상승 속도	고온100℃/ 분 저온7℃/ 분
온도 조절기
온도 표시	7인치 휴먼 컴퓨터 인터페이스
온도 제어 유형	표준PID는온도 제어+자체 정정
온도 해상도	0.1℃
온도 제어 정밀도	±0.5℃
온도 신호 입력 유형	PT100은(선택 사항K S B형 열전지)
온도 제어 출력	직류 선형 전원 가열	직류 선형 전원 가열+액체 질소 유속 컨트롤러
액세스 가능성	온도 데이터 수집 및 내보내기 실시간 온도 곡선+히스토리 온도 곡선 확장 가능한 진공 판독 커넥터
온도 조절기 크기	32cmX170cmX380cm의
온도 조절기 무게	약5.6KG의
프로브
전신번호 커넥터	하네스 변환BNC는이음매 BNC는삼동축 조인트 SMA는이음매 바나나 플러그 선 길이1.2쌀
전기성능	절연 저항 ≥4000MΩ 매체 내압 ≤200V 전류 소음 ≤10pA의
프로브 수	4프로브 (확장 가능5프로브)
프로브 재질	텅스텐 도금 바늘 (기타 재료 옵션)
프로브 팁	10μm
수동 프로브 모바일 플랫폼
X축 이동 스트로크	20mm±10mm(슬라이더를 수동으로 밀어야 함)
X축 제어 정밀도	≥500μm
R축 이동 스트로크	120°±60°(프로브 스틱을 수동으로 회전해야 함)
R축 제어 정밀도	≥500μm
Z축 이동 스트로크	2mm±1mm
Z축 제어 정밀도	≤50μm(수동 스레드 조절 프로브 스틱 필요)

국산 수동 고온 진공 탐침대 결정 원 검측

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