직사 광각기

협상 가능업데이트02/09

모델

제조업체의 성격: 생산자

제품 카테고리

원산지 Place of Origin

온라인 상담

개요

CG-MLC6 시리즈 직사 포토레지스트는 정교한 포토레지스트 제품입니다.이 장비는 디지털 광각 기술을 사용하여 템플릿을 덮을 필요가 없으며 포토레지스트가 칠해진 라이닝 바닥으로 판도 정보를 직접 옮길 수 있습니다.CG-MLC6 시리즈는 기능이 유연하고 부피가 작으며 성가비가 높아 각 대학교, 실험실 및 연구기관을 위해 특별히 제작되었다.그 주요 응용 제품은 MEMS 제작 (예: MEMS 마이크, 압력 센서, 가속도계, 자이로스코프, 초음파 센서, 압전 센서), 마스크 템플릿 제작 등이다.

제품 정보

직사 광각기제품 특징:

디지털 광각 시스템

마이크로 나사 장치 마스크 없는 템플릿 직사 광각

광 마스크 제작

3D 구조 노출 기능

자동 조준 기능

사용자 지정 태그 맞춤 기능

시각적 좌표 입력 노출 기능

자동 초점 기능

불규칙 샘플 노출

빠르고 세밀한 두 가지 노출 모드

다양한 데이터 형식 지원(GDS Ⅱ/Gerber/O DB++)

후면 맞춤 기능 (옵션)

405nm LD 라이트(375nm 옵션)

직사 광각기매개변수:

모델	MLC 라이트는
모델	모드모드	모드 II	모드 모드 III
최소 피쳐 치수	0.5μm	1μm	2μm
최소 선가중치 선분	0.8μm	1.2μm	2.5μm
CD 균일성	10%	10%	10%
2층 대위정밀도 5x5m㎡	500nm	800nm	1000nm
2층 대위정밀도 50x50m㎡	800nm	1000nm	1500nm
생산 능력	50mm²/분	100mm²/분	300mm²/분
최소 기판 크기	5mm x 5mm의
기판 두께	0.1 - 12mm(옵션)
노출 면적	150mm x 150mm
그레이스케일 노출	옵션 128단계
노출 광원	레이저, 405nm 또는 375nm

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