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직접 구동 전동 변위대약술:
8MTL 시리즈 전동 초점이동대는 3상 무철 무브러시 서보 모터 기술을 사용하여 고정밀도, 중복성 및 낮은 마찰력을 통해 제로 클리어런스 운동을 실현할 수 있다.선형 비접촉식 광학 인코더는 나노미터급 운동 해상도로 위치를 직접 제어할 수 있도록 한다.산화 알루미늄 합금은 고온 안정성을 보장하며, 8MTL 기기의 유연성과 우수한 긴 주기 운동학, 무방향 시스템 드리프트.이 플랫폼은 설치 공간이 작아 고밀도 기계와 좁은 공간 응용프로그램에 통합할 수 있으며 초정실 및 진공(최대 10-3 Torr) 응용프로그램에 사용할 수 있다.
8MTL1301-170
| 모델 | 8MTL1301-170-LEn1-025는 | 8MTL1301-170-LEn1-050 | 8MTL1301-170-LEn1-100 | 8MTL1301-170-LEn1-200 |
| 일정 | 170 미미터 | |||
| 인코더 유형 | 광학 인코더 | |||
| 인코더 해상도 | 25 nm | 50 nm | 100nm | 200nm |
| 인코더 래스터 주기 | 20 µm의 | |||
| 절dui 정밀도: | ||||
| 교정 전 | ±5 µm | |||
| 교정 후 | ±1 µm | |||
| 양방향 반복 정밀도 (피크) | ±0.15 µm | |||
| 양방향 반복 정밀도(RMS) | ±0.10 µm | |||
| 최대 속도 (적재량 4kg) | <2000 mm/s> | |||
| 로드 (가운데) | 30kg | |||
| 무게 | 4.1kg의 | |||

8MTL1401-300의
| 모델 | 8MTL1401-300-LEn1-025는 | 8MTL1401-300-LEn1-050 | 8MTL1401-300-LEn1-100 | 8MTL1401-300-LEn1-200 |
| 일정 | 300 mm | |||
| 인코더 유형 | 광학 인코더 | |||
| 인코더 해상도 | 25 nm | 50 nm | 100nm | 200nm |
| 인코더 래스터 주기 | 20 µm의 | |||
| 절dui 정밀도: | ||||
| 교정 전 | ±5 µm | |||
| 교정 후 | ±1 µm | |||
| 양방향 반복 정밀도 (피크) | ±0.15 µm | |||
| 양방향 반복 정밀도(RMS) | ±0.08 µm | |||
| 최대 속도 (적재량 4kg) | <2000 mm/s> | |||
| 로드 (가운데) | 30kg | |||
| 무게 | 6.75kg의 | |||

직접 구동 전동 변위대8MTL120XY는
| 모델 | 8MTL120XY-LEn1-025는 | 8MTL120XY-LEn1-050의 | 8MTL120XY-LEn1-100 | 8MTL120XY-LEn1-200 | |
| 일정 | 120 × 120 mm | ||||
| 인코더 유형 | 광학 인코더 | ||||
| 인코더 해상도 | 25 nm | 50 nm | 100nm | 200nm | |
| 인코더 래스터 주기 | 20 µm의 | ||||
| 절두이 정밀도 | 교정 전 | ±4 µm | |||
| 교정 후 | ±0.5 µm | ||||
| 양방향 반복 정밀도 (피크) | ±0.15 µm | ||||
| 양방향 반복 정밀도(RMS) | ±0.10 µm | ||||
| 최대 속도 (적재량 4kg) | <1000 mm/s> | ||||
| 로드 (가운데) | 30kg | ||||
| 치수 | 240 x 360 x 75의 mm | ||||

8MRL120-15는
| 모델 | 8MRL120-15-메인 | |
| 각도 범위 | 360 도 | |
| 인코더 유형 | 광학 인코더 | |
| 인코더 해상도 | 0.0000625 도 | |
| 인코더 래스터 주기 | 0.05 도 | |
| 절두이 정밀도 | 교정 전 | ±218 µrad/ ±45.00 아크세크 |
| 교정 후 | 요청 | |
| 양방향 반복 정밀도 (피크) | ±7.30 µrad/ ±1.50 아크세크 | |
| 양방향 반복 정밀도(RMS) | ±2.90 µrad/ ±0.60 아크세크 | |
| 편심율 | ±5.00 µm | |
| 흔들림 | ±19.40 µrad/ ±4.0 아크세크 | |
| 최대 속도 (로드 없음) | <9000 deg/s/1500 RPM> | |
| 부하 | 수평 | 40 킬로그램 |
| 수직 | 20 킬로그램 | |
| 회전판 지름 | 90mm | |
| 중심 구멍 지름 | 15mm | |
| 무게 | 2.6kg의 | |

8MRL180, 8MRL250
| 모델 | 8MRL180 | 8MRL250 |
| 각도 범위 | 360 도 | 360 도 |
| 인코더 유형 | 1Vpp 아날로그 인1Vpp | |
| 인코더 해상도 | 2 아크세크 | 1 아크세크 |
| 양방향 반복 정밀도 | 5 아크세크 | 4 아크세크 |
| jue 페어 정밀도(교정 전) | 50 아크세크 | 40 아크세크 |
| 축이 뛰다 | 30 µm의 | 30 µm의 |
| 레이디얼 댄스 | 30 µm의 | 20 µm의 |
| 최대 속도 | 6600 도/초 | 3300 deg/s |
| 수평 부하 | 12 킬로그램 | 20 킬로그램 |
| 수직 부하 | 12 킬로그램 | 15 킬로그램 |
| 회전판 지름 | 180 mm | 250 mm |
| 무게 | 5개의 kg | 9 킬로그램 |