데스크톱식 자동 필름 두께계

협상 가능업데이트02/09

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개요

NS-30 시리즈(데스크탑 자동 두께 측정기)는 데스크탑 자동 두께 측정 분석 시스템이다.필름 두께 측정에 자동 샘플링 로드를 반복하여 설정된 지점을 자동으로 측정하고 2D 및 3D의 데이터 분포도를 추가로 생성할 수 있습니다.NS-30 시리즈는 웨이퍼 필름 두께 측정이나 태양광 전지 필름 두께 측정 등에 적용된다.

제품 정보

NS-30 시리즈(데스크탑 자동 두께 측정기)는 데스크탑 자동 두께 측정 분석 시스템이다.실현 가능굴절률 흡수율 소광계수 측정,필름 두께 측정에 자동 샘플링 로드를 반복하여 설정된 지점을 자동으로 측정하고 2D 및 3D의 데이터 분포도를 추가로 생성할 수 있습니다.NS-30 시리즈는 웨이퍼 필름 두께 측정이나 태양광 전지 필름 두께 측정 등에 적용된다.

NS-30 自动 mapping 膜厚仪

1. NS-30 시리즈(데스크탑 자동 필름 두께기)의 특징

1. 샘플 자동 측정, 플랫폼 크기 100mm~450mm 선택;

2. 소프트웨어는 수요에 따라 측정 포인트 분포를 자동으로 생성한다;

두께/굴절률/반사율 등의 정보를 포함하는 3, 2D 및 3D 측정 효과

4. 박막의 응력과 표면의 굴곡을 측정할 수 있다(Stress/Bow);

2. NS-30 자동 mapping 필름 두께계 파라미터 규격

모델	NS-30UV는	NS-30은	NS-30NIR는
파장 범위	190 nm - 1100 nm	380 nm - 1050 nm	950nm - 1700nm
두께 측정 범위1	1 nm ~ 40 μm	15 nm - 80 μm	150 nm ~ 250 μm
정확도2	1nm또는0.2%	2nm또는0.2%	3 nm또는0.4%
정밀도3	0.02 nm	0.02 nm	0.1 nm
안정성4	0.05 nm	0.05 nm	0.12의 nm
반점 크기	1.5 mm	1.5 mm	1.5 mm
속도 측정	< 1초(1회 측정)	< 1초(1회 측정)	< 1초(1회 측정)
라이트	할로겐 텅스텐 램프+듀테륨등	할로겐 텅스텐 램프	할로겐 텅스텐 램프
샘플 크기	지름 끝1mm에300mm또는 그 이상	지름 끝1mm에300mm또는 그 이상	지름 끝1mm에300mm또는 그 이상

1 재료에 따라 다름

2 Si/SIO2(500~1000nm) 샘플

3 500nm SiO2 표준 슬라이스의 1배 표준 편차를 100회 측정하고 유효 측정일 20배 표준 편차를 평균

4 500nm SiO2 표준 슬라이스의 평균을 100회 측정하여 유효 측정 20일 평균의 2배로 표준 편차 계산

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