- 이메일
- 전화
-
주소
북경시 창평구 북청로 1호원 8호동 19층 1단원 1911
Beijing Rongxing Guangheng Technology Co., Ltd
개요
자!LCPLN50XIR 및 100XIR 적외선 렌즈$r$n5X/10X/20X/50XNIR 적외선 렌즈$r$n 산업용 $r$n 야금, 반도체, 항공 등 분야
제품 정보
자!LCPLN50XIR 및 100XIR 적외선 물안경
자!LCPLN50XIR 및 100XIR 적외선 물안경
올림푸스 적외선 렌즈
5X/10X/20X/50XIR 적외선 렌즈
공업용
야금,반도체,항공 등 분야
올림푸스 LCPLN50XIR와 LCPLN100XIR는 근적외선(NIR) 스펙트럼 관찰을 위해 설계된 현미경 물경으로 주로 반도체, 전자제조 및 산업야금 등 분야에 응용되며 실리콘 웨이퍼 내부 구조, IC칩 등 재료의 무손실 검측에 사용된다.34
1. 핵심 기술과 디자인 특징
00001. 근적외선 관찰력: 두 물경은 모두 700~1300nm 파장의 근적외선에 최적화되어 높은 투과율을 가지고 있으며 실리콘 등 재료를 관통할 수 있어 웨이퍼 내부 구조, 결합선 또는 결함에 대한 비파괴적인 관찰을 실현할 수 있다.38
00002. 조정 가능한 교정 루프: LCPLN-IR 시리즈의 핵심 특징입니다.보정 루프를 장착한 대물경은 유리 덮개 또는 실리콘 층과 같은 다양한 두께의 커버 재료에 대한 구차 보정을 수행하여 다양한 샘플을 관측할 때 높은 해상도와 높은 명암비를 유지할 수 있습니다.34
· 유리 두께 보정 범위：0 - 1.2mm（50X）；0 - 0.7mm（100X）。34
· 실리콘 두께 보정 범위：0 - 1.2mm（50X）；0 - 1.0mm（100X）。34
00003. 무한 원광학 시스템: 무한 원거리 교정 광학 설계를 사용하여 표준과 호환되는 무한 원거리 현미경 광로.12
00004. 주요 광학 파라미터 대비
매개변수 |
LCPLN50XIR는 |
LCPLN100XIR는 |
배율 확대 |
50X |
100X |
숫자 구멍 지름(N.A.) |
0.65 |
0.85 |
작업 거리(W.D.) |
4.5개의 mm |
1.2mm (유리) / 1.48 - 1.33mm (실리콘) 13 |
뷰 수(F.N.) |
22 미미터 |
22 미미터 |
초점 거리 |
45 mm |
45 mm |
스레드 커넥터 |
W20.32×0.706 (RMS) |
W20.32×0.706 (RMS) |
침액 매체 |
공기 / 건조 |
공기 / 건조 |
2. 응용우세
00001. 검사 정밀도 향상: 높은 수치의 공경은 사진차 교정 기능과 결합하여 근적외선 대역에서 높은 해상도와 이미지 대비도를 제공하여 재료 내부의 미시적인 세부 사항을 명확하게 드러낼 수 있다.89
00002. 적응성 향상교정 루프 설계는 동일한 물경이 서로 다른 공정 공정의 웨이퍼 또는 서로 다른 두께의 패키지가 있는 샘플에 적응할 수 있도록 하여 물경을 교체하지 않고도 선명한 이미지를 얻을 수 있어 검측 효율과 유연성을 향상시켰다.38
00003. 이미징 모드 지원: 두 가지 물경은 모두 명장 반사와 투사 관찰, 그리고 편광 관찰을 지원한다.210
00004. 시스템 호환성: 올림푸스 UIS2 광학 시스템의 일부로서 상응하는 현미경 주체와 부품과 함께 사용할 수 있으며, 전문적인 근적외선 검측 플랫폼을 구축할 수 있다.4
3. 전형적인 응용장면
· 반도체 실효 분석: 집적회로칩 내부의 균열, 공허, 계층화 및 금속선 연결 결함을 검사한다.8
· 웨이퍼 체크: 실리콘 웨이퍼 내부의 혼합 구역, 결함 및 결정 구조를 관찰한다.39
· 재료 과학 연구: 불투명한 재료를 관통하여 내부 영상을 만들어야 하는 각종 과학 연구와 공업 검측 분야에 사용된다.12
