CF4 가스 분석기

CF4 가스 분석기GASERA ONE 개요

GASERA ONE 다중 가스 분석기는 레이저 광음 스펙트럼 기술을 기반으로 탐지기와 광원을 보유하고 있으며 과학 연구, 산업 및 기타 분야에 널리 응용되고 있습니다.이 중 탐지기는 초고감도의 증강형 현수막 빔 광학 마이크 기술이다.

CF4 가스는 반도체 제조, 환경 모니터링 및 산업 안전 등의 분야에 널리 응용된다.광음향 스펙트럼 기술은 기체가 광에너지를 흡수한 후 발생하는 음향 신호를 측정함으로써 고감도, 고안정성의 CF4 농도 측정을 실현한다.

CF4 가스 분석기GASERA ONE - 솔루션

우수한 광원 유형을 선택함으로써 GASERA ONE은 다양한 응용 수요에 적합합니다.

더 복잡한 측정 시나리오의 경우 여러 GASERA ONE을 연결하여 애플리케이션에 간단한 솔루션을 제공할 수 있습니다.

CF4 가스 분석기GASERA ONE - 작업

GASERA ONE은 사용자에게 간단하고 직관적인 고해상도 모니터와 제어 버튼을 제공합니다.또한 사용자는 스마트폰, 태블릿 또는 기타 장치를 통해 GASERA ONE을 제어할 수 있습니다.

CF4 가스 분석기GASERA ONE - 기술

작동 원리: 레이저 광음 스펙트럼

초민감 MEMS 현수막 빔 센서 광학 마이크, 결합 레이저 간섭기 측정 현수막 빔 미량 변위

민감도 및 가스 성분 종류와 같은 어플리케이션 요구 사항에 따라 광원 구성

적합한 광원에는 튜닝 가능한 반도체 레이저(TDL), 양자 레벨, 연결 레이저(QCL), 외강식 양자 캐스케이드 레이저(EC-QCL), 대역 간 캐스케이드 레이저,(ICL)，옵티컬 파라메트릭 발진기(OPO), 필터가 있는 광대역 적외선 광원(NDIR)

가스실 고정온도 50 ℃

CF4 가스 분석기GASERA ONE - 범용

19"3U 산업용 섀시, 모든 데스크탑 또는 랙 장착용

尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D (19.1에서 W x 5.5에서 H x 17.3에서 D)

무게: 약 13kg

내장형 7"전면 모니터 컴퓨터

최소 1년의 지속적인 모니터링을 위해 충분한 데이터 저장 용량

총 채기량: 10~30ml

후면 패널에는 4선 가스 인터페이스가 있고, 2선은 샘플링 인터페이스이며, 분진 미세먼지 필터가 장착되어 있다

전원 공급:

입력 전압: 100~240VAC, 50~60Hz

입력 전력: 100~200W(특정 요구 사항에 따라 다름)

통신 커넥터: Ethernet, USB

GASERA ONE은 스마트폰, 태블릿, 노트북 또는 다른 GASERA ONE을 통해 작동합니다.

CF4 가스 분석기GASERA ONE - 환경

작업 조건:

온도 범위: 0 ℃ ~ + 40 ℃

습도: 90% 이하 RH, 비응고

압력 범위: 대기압

보호 등급: IP20(IEC 529)

저장 조건:

온도 범위: -20℃~+60℃

샘플링 조건:

온도: 0~+49℃

습도: 무응고

가스 유량: 약 1L/min

압력: 930mbar~1100mbar

미립자<1μm

CF4 가스 분석기GASERA ONE - 검출 매개변수

응답 시간: 채널 적분 시간(C.I.T.) 및 가스 교환 주기에 따라 일반적으로 5초에서 몇 분

테스트 제한: 0.1ppb

동적 스레드: 일반 레벨 5(10000배 검사 한도)

반복성: 1% 미만의 측정값, 작업 조건 표준 농도

정확도: 교정 농도 표준 가스의 정밀도에 따라 달라집니다. 일반 2~5%

온도 안정성: 온도 작동 범위 내 영향 없음

압력 안정성: 압력 작업 범위 내 영향 없음