브룩 계단식 탐침식 표면 윤곽계

프로브 프로파일러/계단식- 갑판 프로페셔널.

기술 성숙, 성능 향상

인테리어 전문가용

브룩 계단식 탐침식 표면 윤곽계Dektak Pro™ 다기능으로 사용의 편리성과 정확한 정밀도는 박막의 두께, 계단의 높이, 응력, 표면의 거칠음과 웨이퍼의 굴곡측정면에서 많은 찬사를 받았다.11세대 Dektak®시스템, 4 반복성의 우수한 성능을 가지고 있으며 200mm 플랫폼 옵션을 제공하여 과학 연구 및 산업 분야에서 재료의 표면 형태에 대한 다양한 분석을 제공 할 수 있습니다.표면 측정에서 Dektak Pro는 마이크로 전자 기술, 박막 및 코팅 및 생명 과학 응용에 이상적입니다.

보다 정확한 정밀도도

프로브식 윤곽선 측정에서 프로브의 바늘 끝은 표면을 따라 이동하여 궤적을 따라 각 점의 높이 정보를 획득하여 고해상도의 표면 형상 분석을 실현한다.탐침식 윤곽계 측정은 고정밀도와 저비용으로 널리 인정받고 있으며, 새로 개발한 기술의 진보는 정밀 공정 응용의 변화하는 수요를 만족시키기 위해 속도와 다기능성을 한층 더 향상시켰다.

강력한 성능 및 반복성

Dektak Pro는 강력한 해상도, 안정성, 안정성 및 내구성으로 향후 수년 또는 수십 년 동안 신뢰할 수 있는 우수한 결과를 제공합니다.새로운 모델은 Dektak 플랫폼에서 혁신을 계승하여 더 높은 해상도, 더 낮은 소음, 더 편리한 프로브 교체를 제공하며, 이 모든 요소는 시스템의 반복성과 정확성을 최적화하는 데 매우 중요하다.

적절한 환경에서 Dektak Pro는 1 나노미터의 계단 높이까지 측정 할 수 있으며 1 마이크로미터의 계단 높이 표준에서 4보다 우수한 반복성을 구현합니다.

세부적인 성능

브룩 계단식 탐침식 표면 윤곽계Dektak Pro의 단일 아치 설계는 소음 및 진동과 같은 불리한 환경 조건에 대한 민감성을 효과적으로 낮추는 동시에 큰 크기의 샘플 테스트를 수용 할 수 있습니다.차세대 스마트 전자 기술 적용은 온도 변화와 전자 소음을 더 크게 줄여 고정밀 측정에서의 오차와 불확실성을 줄였다.

저관성 센서 (LIS 3) 를 통해 시스템은 표면 형태의 갑작스러운 변화에 빠르게 적응하고 동적 측정 장면에서 정확성과 응답성을 유지할 수 있습니다.프로브 교체 기술은 자체 정렬 프로브 클램프를 통해 어긋남 및 시스템 재조정의 필요성을 제거하고 프로브 교체를 쉽게 완료하는 데 1분도 걸리지 않습니다.

빠른 결과 얻기

Dektak Pro는 드라이브 스캔 플랫폼 기술을 사용합니다. 이 첨단 스캔 플랫폼 기술은 해상도와 노이즈 베이스에 영향을 주지 않고 측정 시간을 크게 줄여 3D 형태 또는 긴 윤곽 스캔의 결과 획득 속도를 높이고 우수한 데이터 품질과 반복성을 유지합니다.

Vision64®소프트웨어는 64비트 병렬 처리 기술을 사용하여 빅데이터에 직면하더라도 빠른 데이터 처리를 할 수 있습니다.또한 자동 다중 스캔 분석 작업을 통해 반복 작업을 단순화하고 속도와 편의성을 향상시킬 수 있습니다.

간편한 운영

데이터 수집은 지능형 아키텍처, 직관적인 시각화 워크플로우 및 풍부한 사용자 정의 자동화 기능을 결합한 단순화된 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 Bruker의 Vision64 소프트웨어에서 수행됩니다.Dektak Pro는 다음과 같은 데이터 수집 환경을 더욱 개선합니다.

● 더 작은 광학 왜곡으로 시야 전체가 선명한 초점을 유지하여 관심 테스트 위치를 신속하게 찾을 수 있습니다.

● 단일 측정 헤드는 1 nm ~ 1 mm의 스텝 높이 및 1 ~ 15 mg의 부하(N-Lite+ 모드에서 0.03 mg까지 낮음)를 커버할 수 있으므로 재조정 불필요

● 측정 설정을 자동화하고 작업을 단순화하는 간단한 운영자 그래픽 사용자 인터페이스

분석 능력 확장

Vision64의 데이터 분석기는 데이터 필터링, 자동 조정, 자동 스텝 감지 및 recipe 기능을 통해 분석을 더욱 강력하고 간단하게 합니다.

• 계단 높이

Dektak Pro의 강력한 새로운 스텝 높이 알고리즘은 다양한 복잡한 표면 프로파일 측정에 신뢰할 수 있고 포괄적인 결과를 제공합니다.또한 자동 분석 프로그램을 통해 계층 고도의 컴퓨팅에 대한 사용자의 영향을 최소화하고 데이터 해석의 일관성과 객관성을 높일 수 있습니다.

• 표면 거칠기 및 파문

Dektak Pro는 표면의 거친 정도, 텍스쳐 및 물결을 고정밀도로 계량화하는 높은 가격 대비 사용자 친화적인 솔루션을 제공합니다.다양한 프로브 사양, 사용자정의 가능한 프로브 힘 (1-15mg, N-Lite+를 사용하여 0.03mg까지 낮음) 및 최대 1mm의 수직 측정 범위로 다양한 표면에서의 측정이 가능합니다.

• 2D 응력 측정

Dektak Pro를 사용하면 2D 응력 분석에서 강력한 제어를 할 수 있습니다.사용자정의 특이점 제거 및 경계 맞춤을 통해 반복 가능하고 정밀도가 높은 응력 측정을 수행할 수 있습니다.

• 웨이퍼 플랭크 및 3D 응력 측정

필름 응력으로 인한 변형을 정확하게 평가하는 것은 제어 가능한 공정을 개발하고 고품질 부품을 제조하는 데 매우 중요하다.Dektak Pro는 변형, 갈라짐 및 층간 박리를 유발할 수 있는 필름 응력을 정확하게 측정합니다.

포괄적인 어플리케이션 환경

Dektak Pro는 개발, 공정 개발 및 현재와 미래의 품질 보증/품질 관리(QA/QC) 요구를 충족하며 다음과 같은 다양한 산업 및 연구 응용 프로그램에 적용됩니다.

• 마이크로전자

침적 및 부식 과정 모니터링

측정 장치 및 센서 높이

도랑 깊이 평가

• 필름 및 코팅

안경의 UV/경화 코팅 확인

수도꼭지/부속품의 장식 코팅 최적화

페인트 또는 잉크 코팅 두께 분석

• 생명 과학

생물 재료의 두께를 분석하다.

생체 센서의 표면 형상을 평가하다.

표징 마이크로 유체 채널