설비 검사 교정 계량 기구 연간 심사 외국 학교 의 기구 를 만들다

설비 검사 교정 계량 기구 연간 심사 외국 학교 의 기구 를 만들다

간섭기 교정 규정

1. 목적

간섭기 측정 결과의 정확성과 신뢰성을 확보하여 사용 요구를 만족시키고 관련 표준 규범을 준수하도록 한다.

2. 적용 범위

간섭기의 [특정 모델 또는 유형] 교정에 적용됩니다.

3. 교정 근거

[준수하는 국가, 산업 표준 또는 장비 제조업체가 제공하는 교정 지침 등을 나열합니다.]

4. 환경조건을 교정한다

1.온도: 20 ℃ ± 2 ℃, 교정 과정에서 온도 변화는 시간당 1 ℃ 를 초과하지 않습니다.온도 변동은 광학 소자의 크기와 레이저 파장에 영향을 미쳐 측정 오차를 초래할 수 있다.에어컨, 항온함 등 설비를 리용하여 안정온도를 유지하고 측정구역에 여러개의 온도센서를 배치하여 실시간으로 감시할수 있다.

2.습도: 40% - 60% RH, 습도 변화는 시간당 5% RH를 초과하지 않습니다. 높은 습도는 광학 소자 표면에 수증기가 응결 또는 부식되어 광학 성능에 영향을 미치기 쉽습니다.제습기, 가습기, 습도 센서를 통해 조절하고 감시할 수 있다.

3.진동: 진동 폭이 [X]μm 미만이고 주파수가 [X]Hz 미만입니다.외부 진동은 간섭 줄무늬를 불안정하게 하여 측정 정밀도에 영향을 줄 수 있다.간섭기를 방진 플랫폼에 놓고 대형 기계 설비, 엘리베이터 등 진동원을 멀리한다.

4.청정도: 작업 환경은 먼지, 입자 등 오염물이 간섭기 내부에 들어가 광학 부품을 오염시키지 않도록 청결을 유지해야 한다.환경에 공기 정화 설비를 설치하고 작업 구역을 정기적으로 청소할 수 있다.

설비 검사 교정 계량 기구 연간 심사 외국 학교 의 기구 를 만들다

5. 교정설비 및 도구

1. 표준 부품: 고정밀도와 추적 가능성을 가진 표준 블록, 표준 평면 반사경, 표준 구면 반사경 등은 그 정밀도 등급이 교정된 간섭기의 정밀도 요구보다 높아야 한다.예를 들어, 표준 블록 정밀도 레벨을 나노미터로 사용하여 길이를 측정하는 간섭기를 교정합니다.

2.보조 도구: 먼지 없는 닦는 천, 무수 에탄올, 렌즈 종이는 광학 소자를 청소하는 데 사용됩니다;정밀 조정 프레임은 표준 부품과 간섭기의 상대적인 위치를 고정하고 조정하는 데 사용됩니다.포토메트릭은 레이저 광원의 포토메트릭을 측정하는 데 사용됩니다.

6. 교정인원요구

교정인원은 전문훈련을 거쳐 간섭기의 작업원리, 조작방법과 교정절차를 숙지하고 관련 계량지식과 기능을 구비해야 하며 상응한 계량교정자질증서를 소지해야 한다.

7. 항목 및 방법 교정

(1) 외관 및 기능 검사

1.외관 검사: 안력 관찰 간섭기 케이스는 파손, 변형, 스크래치, 녹슨 등 결함이 없어야 한다;디스플레이가 선명하고 흠집, 하이라이트 등 문제가 없다;조작 버튼 기능이 정상적이고 끊김, 고장 현상이 없다;각 인터페이스는 느슨하거나 손상되지 않고 정상적으로 연결되어 있습니다.

2.기능 검사: 전원을 연결하고 간섭기를 켜고 기기의 자체 검사 기능이 정상인지 검사한다;계기 조작 매뉴얼에 따라 간섭기의 측정 모드 전환, 데이터 저장, 데이터 전송, 파라미터 설정 등 기능을 순서대로 테스트하여 각 기능이 모두 정상적으로 실현될 수 있는지 확인한다.

(2) 레이저 파장 교정

1.표준 선택 참조: 계량 교정을 거쳤고 소원성을 가진 파장 표준기를 선택하여 그 파장 불확정도는 교정 요구를 만족시켜야 한다.

2.교정 단계: 파장 표준기를 간섭기의 레이저 출력 포트에 적합하게 연결한다;간섭기와 파장표준기를 가동하고 설비가 안정되면 간섭기에 파장측정기능을 설치한다.간섭기가 측정한 레이저 파장 값을 기록하고 파장 표준기의 표시 값과 비교한다.측정 값과 측정 값의 편차가 허용 범위를 벗어나면 간섭기의 조작 매뉴얼에 따라 레이저 광원의 관련 매개변수 (예: 전류, 온도 등) 를 조정하여 파장을 교정하여 측정 값과 측정 값의 편차가 허용 범위 내에 있게 한다.

(3) 측정 길이 표시 오차 교정

1. 표준 블록 준비: 서로 다른 길이 규격의 표준 블록 세트를 선택합니다. 블록의 길이 범위는 간섭기의 상용 측정 범위를 덮어야 하며 블록의 정밀도 등급은 교정 요구를 만족시켜야 합니다.예를 들어, 측정 범위가 0-100mm인 간섭기의 경우 10mm, 25mm, 50mm, 75mm, 100mm 길이의 표준 측정기를 선택할 수 있습니다.

2.교정 단계: 간섭기의 측정 헤드와 표준 블록의 한쪽 끝을 접촉하여 접촉이 양호하고 측정 방향이 정확한지 확인한다.간섭기에서 길이 측정 기능을 설정하고 측정합니다.간섭기가 측정한 길이 값을 기록하고 표준 블록의 표시 길이 값과 비교합니다.측정 표시 오차를 계산하고 공식은 표시 오차 = 측정 값 - 표시 값입니다.상술한 절차에 따라 순서대로 부동한 길이의 표준량블록을 측정하고 표시오차를 계산한다.표시 오차와 측정 길이의 관계 곡선을 그려 표시 오차가 허용 범위 내에 있는지 분석합니다.허용 범위를 벗어나면 간섭기의 광로 시스템, 측정 알고리즘 등을 소프트웨어로 수정하거나 조정하여 교정할 수 있다.

(4) 중복 교정 측정

1. 측정점 선택: 간섭기의 측정 범위 내에서 길이를 측정하는 간섭기와 같은 대표적인 측정점을 선택하여 50mm의 위치를 측정점으로 선택할 수 있습니다.

2. 교정 단계: 선택한 측정점에서 간섭기를 사용하여 연속 n회(일반 n≥10) 측정을 하고 매번 측정 후 측정값을 기록한다.측정 반복성을 계산합니다. 공식은 측정 반복성 = (한 번 측정 표준 편차/측정 평균) × 100% 이며, 그 중 한 번 측정 표준 편차는 베셀 공식에 따라 계산됩니다.산출된 측정 중복성과 기기의 기술지표를 대조해 측정 중복성이 적합한지 판단한다.만약 요구에 부합되지 않을 경우 간섭기의 안정성, 측정환경에 교란이 존재하는가 하는 등 요소를 검사하고 상응한 조정과 교정을 진행한다.

(5) 각도 측정 표시 오차 교정(각도 측정 기능이 있는 간섭기에 적용)

1. 표준 각도 블록 준비: 서로 다른 각도 규격의 표준 각도 블록을 선택하여 각도 블록의 각도 범위는 간섭기의 각도 측정 범위를 덮어야 하며 각도 블록의 정밀도 등급은 교정 요구를 만족시켜야 한다.

2. 교정 절차: 표준 각도 블록을 간섭기의 각도 측정 작업대에 놓고 각도 블록의 위치와 방향을 조정하여 간섭기가 각도를 정확하게 측정할 수 있도록 한다.간섭기에서 각도 측정 기능을 설정하고 측정합니다.간섭기가 측정한 각도 값을 기록하고 표준 각도 블록의 표시 각도 값과 비교합니다.각도를 계산하여 값 표시 오차를 측정하는데, 공식은 값 표시 오차 = 측정값 - 공칭값이다.상술한 절차에 따라 차례대로 부동한 각도의 표준각도블록을 측정하고 표시오차를 계산한다.각도 측정 표시 오차가 허용 범위 내에 있는지 분석합니다.허용 범위를 벗어나면 간섭기의 각도 측정 광로, 교정 각도 측정 알고리즘 등을 조정하여 교정할 수 있습니다.

(6) 평면도 측정 표시 오차 교정 (평면도 측정 기능이 있는 간섭기에 적용)

1. 표준 평면 반사경 준비: 고정밀 표준 평면 반사경을 선택하여 그 평면도 오차는 간섭기의 평면도 측정 허용 오차보다 훨씬 작아야 한다.

2. 교정 단계: 표준 평면 반사경을 간섭기의 측정 작업대에 놓고 반사경의 위치를 조정하여 간섭기가 반사경의 평면도를 측정할 수 있도록 한다.간섭기에서 평면도 측정 기능을 설정하고 측정합니다.간섭기가 측정한 평면도 오차값을 기록하고 표준 평면반사경의 표칭 평면도 오차값과 대비한다.평면도 측정 표시 오차 계산하기;평면도 측정 표시 오차가 허용 범위 내에 있는지 분석합니다.허용 범위를 벗어나면 간섭기의 광학 시스템 조정, 평면도 측정 알고리즘 교정 등을 통해 교정할 수 있다.

8. 교정 결과 처리

1. 교정증서: 교정이 완료되면 교정증서를 발급해야 한다.교정 인증서에는 다음과 같은 내용이 포함되어야 합니다. 교정 메커니즘 이름, 주소;위탁자 이름, 주소;피교정간섭기의 모델, 번호, 생산업체 등 정보;교정 근거;환경 조건 조정항목 교정, 결과 교정, 불확정도 측정;교정 날짜, 교정 인원, 검사 인원 서명 등.

2. 교정결과 판정: 교정결과에 근거하여 간섭기가 사용요구에 부합되는가를 판단한다.만약 교정항목의 측정결과가 모두 허용범위내에 있다면 당해 간섭기의 교정합격을 판정한다.교정 항목의 측정 결과가 허용 범위를 초과하면 간섭기 교정이 부적합한 것으로 판정됩니다.교정이 불합격한 간섭기에 대해서는 불합격항목 및 구체적인 편차상황을 명기하고 위탁측에 간섭기를 수리하거나 조정한후 다시 교정할것을 건의해야 한다.

3.측정 불확정도 평가: 교정 결과에 대한 측정 불확정도 평가, 표준 부품의 불확정도, 측정 반복성 도입의 불확정도, 환경 요소 도입의 불확정도 등 불확정도의 출처를 분석하고 합성 불확정도와 확장 불확정도를 제시한다.측정 불확정도 평가는 JJF 1059.1 측정 불확정도 평가 및 표현과 같은 관련 표준 및 사양에 따라 수행됩니다.교정 인증서에는 측정 불확정도에 대한 평가 결과가 명시되어 있어야 합니다.

9. 복교 시간 간격

일반적으로 간섭기의 재교시간 간격은 1년으로 권장된다.그러나 실제 재교정 시간 간격은 간섭기의 사용 빈도, 사용 환경, 측정 요구 등에 따라 적절히 조정할 수 있다.사용 중 간섭기 측정 결과에 이상이 발견되거나 정확성이 의심되는 경우 즉시 교정해야 합니다.

10. 주의사항

1.교정 과정 중 엄격히 조작 규정에 따라 조작하여, 조작 부당으로 인해 간섭기가 파손되거나 측정 결과가 정확하지 않은 것을 피해야 한다.

2. 교정하기 전에 간섭기와 교정설비를 예열하여 안정된 작업상태에 이르게 함으로써 온도변화가 측정결과에 미치는 영향을 줄여야 한다.

3. 교정 과정에서 간섭기와 교정 설비에 대한 진동, 충격과 전자기 간섭을 피하고 측정 환경의 안정성을 확보해야 한다.

4. 광학 소자를 청소할 때는 부드러운 먼지 없는 천과 무수 에탄올을 사용하여 가볍게 닦아 광학 표면에 긁히지 않도록 해야 한다.

5. 교정이 완료되면 교정증서와 교정기록을 잘 보관하여 추후 조회하고 소급할 수 있도록 해야 한다.