AIXTRON 기계 온도 측정기 EX-C-7FL

협상 가능업데이트05/07

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개요

AIXTRON 기계 온도 측정기 EX-C-7FL은 BASF가 생산한 고정밀 사파이어 광관 고온계로 AIXTRON G3, G4, G5 MOCVD 기계 밑부분의 온도 측정 시스템(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)으로 사용된다.

제품 정보

주요 특징

단파를 이용한 저온 측정	정밀도 0.01ºC, 온도 측정 정밀도 1.5ºC
온도 측정 반복성 0.1ºC, 온도 표류 0.1ºC/년 미만	측정 속도 초당 1000
제어 시스템에 쉽게 통합되는 디지털 / 아날로그 출력

자세한 설명

AIXTRON 기계 온도 측정기 EX-C-7FLBASF에서 생산한 고정밀 사파이어 광관 고온계로, AIXTRON G3, G4, G5 MOCVD 테이블 하단의 온도 측정 시스템(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)으로 사용된다.

AIXTRON 기계 온도 측정기 EX-C-7FLEI110 센서, 광섬유, 사파이어 광관, IFD5 디지털 모듈, IFA5 아날로그 모듈, 부대 케이블 등을 포함하며 온도 측정 범위는 100~1800 ℃, 정밀도는 1.5 ℃, 중복성은 0.1 ℃ 이다.

BASF Exactus®시리즈 온도계빠른 퇴화, 빠른 산화, 박막 퇴적 등의 반도체 공정에 널리 사용되었으며 AIXTRON, LPE, Premtek 등과 같은 여러 MOCVD 장비 및 기타 RTP 장비에 통합되었습니다.또한 온도 측정 정밀도와 안정성이 높기 때문에 Thermogauge 회사와 같은 일부 고온 흑체로 공장에서 온도 표준기로 사용됩니다.

일반적인 어플리케이션

RTP 온도 조절	MOCVD 온도 조절
MBE 온도 조절	온도 표준기

기술 매개변수

측정 매개변수
온도 범위:	100 – 1800℃
작동 파장:	1550nm
측정 정밀도:	1.5 ℃ 또는 0.15% 측정치보다 우수함
해상도:	最高0.01℃
반복 정밀도:	0.1℃
온도 이동:	최대 0.10 ℃ / 년 환경: 0.05 ℃ / ℃ @ 20-45 ℃, 0.10 ℃ / ℃ @ 기타 온도
렌즈:	사파이어 광관

물리적 매개변수
전원 공급:	12-28 VDC, 3W
보관 온도:	-20에서 70℃
주변 온도:	전자 부품: 0 - 60 ℃ 열악한 환경에서의 전용 렌즈: 0 - 250 ℃ 고온 광섬유: 0 - 250 ℃
케이스 소재:	센서 및 렌즈 케이스, 304 스테인리스 스틸/알루미늄; 공기 흡입 케이스, 알루미늄; 열악한 환경 전용 렌즈: 304 스테인리스 스틸,
무게:	표준 고온계, 0.510 kg (1.125 lbs.) 광섬유 센서, 0.198kg(7oz.)

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