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저온 플라즈마는 고체, 액체, 기체에 이은 물질의 네 번째 상태로, 여기에 전압을 넣어 기체의 방전 전압에 도달하면 기체가 뚫려 전자, 각종 이온, 원자와 자유기를 포함한 혼합체가 발생한다.방전 과정에서 전자 온도는 높지만 중입자 온도는 낮아 전체 체계에 저온 상태가 나타나기 때문에 저온 플라즈마라고 한다.저온 플라즈마가 오염물을 분해하는 것은 이러한 고에너지 전자, 자유기 등 활성 입자와 배기가스의 오염물 작용을 사용하여 오염물 분자가 매우 짧은 시간 내에 분해되고 후속 각종 반응이 발생하여 오염물을 분해하려는 의도를 달성하는 것이다.(참고: 저온 플라즈마는 고온 플라즈마에 비해 상온으로 작동합니다.)
