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천진시 진남구 팔리대 건흠성 10-4-58
서로 다른 실험의 요구와 안전성을 만족시키다.쌍병은 합류배기설비를 채용하여 수동, 반자동과 전자동전환기능을 갖고있고 저압경보장치를 설치하여 실시간으로 기압, 농도검측경보와 배기가스를 감시하여 고객의 정상적인 가스사용과 생명재산안전을 확보한다.
가스 회로 시스템 상용 설비
강병 (가스압축기), 강병 고정틀, 강병 캐비닛, 강병 이음매, 금속 호스, 반자동 스위치 장치, 1급 감압기, 2급 감압기, 용접 3통, 용접 대, 작은 봉투, 조임 플러그 밸브, 스테인리스 강관 (BA), 압력계, 가연성 유독가스 모니터링 경보 장치 등.
실험실 집중 가스 공급 시스템 기술 요구 사항
가스통 보관실
가스병 사이에는 300밀리미터 두께의 옹벽을 사용하고, 방폭문을 설치하고, 방폭창을 설치해야 한다
실내 전기 설비는 폭발 방지 기능을 갖추어야 한다.
배기팬을 설치하여, 수시로 양호한 통풍 상태를 유지해야 한다.
가스 공급 시스템은 2급 감압 가스 공급이 필요하다.가스 공급 합류 배출 감압.기체는 15MPa에서 1.5MPa 미만으로 감압된 후 각 기체 사용 실험실로 수송된다.2급 감압기는 각 가스 실험실이나 가스 사용 지점에 설치하여 통풍장이나 계기의 가스 수송 압력을 통일적으로 제어하기 편리하다.가스 터미널에는 중압 볼 밸브와 압력 표시기가 설치되어 있다.2급 감압기는 압력 (0.01메가파스칼) 을 정확하게 조절하여 안정된 압력을 획득하여 기기의 부동한 사용압력에 대한 요구를 만족시킬수 있다.1급 감압기와 2급 감압기는 모두 압력계를 장착하여 현재 압력을 실시간으로 표시할 수 있다.
, 양측 합류 배출 반자동 방식으로 연속 가스 공급, 실험실 사용 요구.가스통을 교체할 때, 고압 호스 아래에 설치된 클램프를 통해 가스통을 교체할 수 있다
, 수소 및 아세틸렌 예.가스 누출 감지와 경보 장치를 설계하고 방화기를 설치해 불이 환류하는 것을 방지해야 한다.인화성 및 연소 보조 가스를 배치할 수 있는 충분한 안전 거리를 확보해야 한다.
실험실 고순도 가스 도로 배치
고순도 가스관 시스템의 배치는 일반 가스관과 다르다.일반적으로 파이프가 너무 길지 말고 사각지대가 없도록 해야 한다. 례를 들면 쉽게 깨끗하게 불지 못하는"맹관"이다.감독관 또는 브랜치의 끝에는 필요한 배출구와 샘플링구가 제공되어야 합니다.일부 비연속적으로 사용되는 사용자에서는 소량의 가스가 파이프 끝에서 연속적으로 배출되므로 파이프의 가스가 정상적으로 흐르고"사존"이 발생하지 않도록 합니다.공정 기체의 품질 요구에 따라 필요할 때 단말기 정화 장치를 설치해야 한다.일반적으로 제어 밸브, 필터, 감압 장치, 압력계, 유량계, 온라인 분석 기기 등.청정작업장에 들어가는 고순도 가스관은 가스인구실에 집중돼 통일적인 관리와 통제가 용이하다.
고순도 가스 파이프 및 파이프 부속 재료: 고순도 가스 파이프 수송 파이프는 공예에 따라 가스 순도, 허용 불순물 함량, 입자 함량 등에 대한 서로 다른 요구에 따라 상응하는 품질의 파이프를 채택해야 한다.예를 들어, 반도체 산업은 깨끗한 생산 환경이 필요할 뿐만 아니라 복잡한 생산 과정과 정교한 가공으로 인해 생산 과정에서 필요한 다양한 순도 높은 가스에 대한 구체적이고 엄격한 요구가 있습니다.마이크로미터 기술부터 마이크로미터와 딥 마이크로미터(0.35um 미만) 기술까지 기체 중의 불순물 함량과 수분 함량에 대한 요구는 매우 엄격하며 10-6(ppm급)은 요구를 만족시킬 수 없다.10-9(ppb급) 심지어 10-12(ppt급)까지 먼지 입경을 0.05-0.01μm로 조절해야 한다.따라서 수송관의 파이프 재료 특성은 순도와 초고순도 기체의 요구를 만족시켜야 한다.
파이프 재료의 특성은 고순도 기체를 수송하는 파이프에 대해 기체의 질에 영향을 주는 파이프 재료의 주요 특성은 통기성, 출기율, 흡착성, 표면 거친도, 내마모성과 내부식성이다.
가스 공급 시스템 파이프라인 설치 요구 사항
, 파이프 부설은 설계 요구에 부합해야 하며, 설계에 요구가 없을 경우 건기 파이프는 수평으로 설치해야 한다;습기를 수송하는 파이프는 경사도가 0.003보다 작지 않고 경사도가 응축수 수집기를 향해야 한다.
파이프는 용접 연결, 텅스텐 극 아르곤 아크 용접 베이스, 수동 아크 용접 커버를 사용합니다.스테인리스 강관 용접 또는 스폿 용접은 아르곤 충전 보호 조치를 취해야 한다
가스관 및 장비, 밸브 및 기타 액세서리는 플랜지 또는 스레드를 통해 연결해야 합니다.나사 이음매의 충전재는 반드시 폴리테트라 플루오로에틸렌 박막이어야 한다
, 가스관이 클린룸을 통과할 때, 플랜지 개스킷이나 스레드 충전재의 노출 부분은 반드시 깨끗이 정리해야 한다
가스관은 모래를 분사하여 녹을 제거하거나 산세척으로 무봉강관을 둔화시킬 때 반드시 집중설치방식을 채용해야 하며 설치는 48시간내에 분단조합해야 하며 질소가스보호, 충전압력은 0.2메가파스칼 이상이여야 한다