천진 실험실 고순도 가스 도로 배치

천진 실험실 고순도 가스 도로 배치

고순도 가스관 시스템의 배치는 일반 가스관과 다르다.일반적으로 파이프가 너무 길지 말고 사각지대가 없도록 해야 한다. 례를 들면 쉽게 깨끗하게 불지 못하는"맹관"이다.감독관 또는 브랜치의 끝에는 필요한 배출구와 샘플링구가 제공되어야 합니다.일부 비연속적으로 사용되는 사용자에서는 소량의 가스가 파이프 끝에서 연속적으로 배출되므로 파이프의 가스가 정상적으로 흐르고"사존"이 발생하지 않도록 합니다.공정 기체의 품질 요구에 따라 필요할 때 단말기 정화 장치를 설치해야 한다.일반적으로 제어 밸브, 필터, 감압 장치, 압력계, 유량계, 온라인 분석 기기 등.청정작업장에 들어가는 고순도 가스관은 가스인구실에 집중돼 통일적인 관리와 통제가 용이하다.

고순도 가스 파이프 및 파이프 부속 재료: 고순도 가스 파이프 수송 파이프는 공예에 따라 가스 순도, 허용 불순물 함량, 입자 함량 등에 대한 서로 다른 요구에 따라 상응하는 품질의 파이프를 채택해야 한다.예를 들어, 반도체 산업은 깨끗한 생산 환경이 필요할 뿐만 아니라 복잡한 생산 과정과 정교한 가공으로 인해 생산 과정에서 필요한 다양한 순도 높은 가스에 대한 구체적이고 엄격한 요구가 있습니다.마이크로미터 기술부터 마이크로미터와 딥 마이크로미터(0.35um 미만) 기술까지 기체 중의 불순물 함량과 수분 함량에 대한 요구는 매우 엄격하며 10-6(ppm급)은 요구를 만족시킬 수 없다.10-9(ppb급) 심지어 10-12(ppt급)까지 먼지 입경을 0.05-0.01μm로 조절해야 한다.따라서 수송관의 파이프 재료 특성은 순도와 초고순도 기체의 요구를 만족시켜야 한다.

파이프 재료의 특성은 고순도 기체를 수송하는 파이프에 대해 기체의 질에 영향을 주는 파이프 재료의 주요 특성은 통기성, 출기율, 흡착성, 표면 거친도, 내마모성과 내부식성이다.

가스 공급 시스템 파이프라인 설치 요구 사항

, 파이프 부설은 설계 요구에 부합해야 하며, 설계에 요구가 없을 경우 건기 파이프는 수평으로 설치해야 한다;습기를 수송하는 파이프는 경사도가 0.003보다 작지 않고 경사도가 응축수 수집기를 향해야 한다.

파이프는 용접 연결, 텅스텐 극 아르곤 아크 용접 베이스, 수동 아크 용접 커버를 사용합니다.스테인리스 강관 용접 또는 스폿 용접은 아르곤 충전 보호 조치를 취해야 한다

가스관 및 장비, 밸브 및 기타 액세서리는 플랜지 또는 스레드를 통해 연결해야 합니다.나사 이음매의 충전재는 반드시 폴리테트라 플루오로에틸렌 박막이어야 한다

, 가스관이 클린룸을 통과할 때, 플랜지 개스킷이나 스레드 충전재의 노출 부분은 반드시 깨끗이 정리해야 한다

가스관은 모래를 분사하여 녹을 제거하거나 산세척으로 무봉강관을 둔화시킬 때 반드시 집중설치방식을 채용해야 하며 설치는 48시간내에 분단조합해야 하며 질소가스보호, 충전압력은 0.2메가파스칼 이상이여야 한다

접지 요구가 있는 가스관의 경우, 플랜지 사이에는 반드시 전도 점퍼를 용접해야 한다.도체 단면 및 용접 조인트 길이는 설계 요구 사항에 부합해야 합니다.용접점은 반드시 견고하고 믿음직해야 한다.

천진 실험실 고순도 가스 도로 배치