전반사 X선 형광 분광기 (TXRF) 는 전반사 X선 형광 기술을 기반으로 한 고감도 분석 기기로 주로 액체, 부유액, 고체 및 오염물 샘플의 정량 및 반정량 다원소 미량 분석에 사용된다.
X선이 석영 조각과 같은 샘플 캐리어 표면에 임계각 (일반적으로 0.1 ° -0.5 °) 보다 작게 입사되면 전체 반사가 발생하여 캐리어가 X선을 흡수하고 산란하지 않습니다.시료 (캐리어 표면에 균일하게 전개, 두께 ≤ 100nm) 의 원소 원자가 자극되어 특징 X선 형광 (XRF) 을 발사하고, 탐지기를 통해 특징 X선의 에너지와 강도를 채취하여 에너지 식별 원소 종류에 따라 강도에 따라 정량적으로 원소 함량을 계산한다.
핵심 역할은 다음과 같습니다.
다원소 미량 분석: 액체, 분말, 고체 등 샘플 중의 상량, 차량 및 흔적 원소에 대해 동시에 정량 또는 반정량 검측을 진행할 수 있으며, 커버 원소 범위는 알루미늄 (Al) 에서 우라늄 (U) (불활성 가스 및 소수 원소 제외) 에 이르며, 함량 검측 제한은 나크 (ng) 심지어 아나크 수준까지 낮을 수 있다.
배경 소음 감소: 매우 작은 입사각 (보통 0.1 ° 이하) 으로 샘플을 비추어 전체 반사 현상을 이용하여 기저 산란 교란을 현저하게 감소시켜 검사 제한을 일반 X선 형광 기술보다 몇 개 수량 레벨을 낮추고 신호 소음 비율을 높인다.
광범위한 샘플 유형을 적용합니다: 복잡한 샘플 제조가 필요 없고, 미세 업그레이드 액체, 분말 또는 고체 샘플을 직접 분석할 수 있으며, 특히 생물 샘플, 환경 오염물과 같은 초미량 샘플의 무손실 검사에 적합합니다.
계기 구조
X선 소스: 고압 발생기 및 방사선 튜브로 구성되어 있으며, 샘플에서 측정 대기 원소를 자극하는 초급 X선을 제공합니다.
광로 시스템: 광맹, 필터, 준직 협봉, 단색기 등을 포함하며, TXRF의 입사각, 에너지 분포 등의 요구를 충족시키기 위해 초급 X선의 기하학적 형태와 스펙트럼 분포를 조절하는 데 사용된다.
샘플링 시스템: 샘플링 캐리어를 제공하며, 대부분 석영 유리, 유기 유리 등이며, 전체 반사 조건을 만족시키고 자동 샘플링 작업을 완료합니다.
탐지기: 데이터 판독의 핵심 부품으로서 주로 반도체 탐지기, 실리콘 드리프트 탐지기 (SDD) 및 비트 민감 탐지기가 있으며, 현재 상용 기기는 실리콘 드리프트 탐지기를 많이 사용한다.
데이터 처리 시스템: 탐측기가 수집한 데이터를 분석하고 처리하여 원소의 종류와 함량을 계산하고 도표 등의 형식으로 결과를 나타낸다.