직류 자기 제어 사출기는 자기장을 통해 전자를 구속하고 플라스마 밀도를 강화하여 박막을 효과적으로 퇴적하는 실험실 설비로 재료 연구, 반도체 도금 등 분야에 널리 응용된다.진공 챔버에 타성 기체가 통하여 직류 고압을 가하여 전장을 형성하여 기체가 이온화되어 플라스마를 생성하게 한다.표적재 표면에 정교자장을 설치하여 로렌즈력을 통해 전자운동궤적을 제약하고 그 경로를 연장하여 기체와의 충돌확률을 증가시켜 플라즈마밀도와 사출효률을 높인다.고에너지 이온이 표적재 표면을 폭격하여 표적재 원자가 튀어 기재에 퇴적하여 치밀한 박막을 형성하게 한다.이 과정은 샘플에 화상을 입지 않도록 열을 정확하게 조절해야 합니다.
장점: 구조가 간단하고 직류 전원 시스템이 안정적이며 원가가 낮으며 설비의 유지 보수가 간단하다.금속 등 양도체 표적재에 대해서는 사출속도가 높아 공업규모화 생산수요를 만족시킬 수 있다.그 공예가 좋고 매개변수를 쉽게 제어할 수 있으며 공예 창구가 넓고 양산 경험이 풍부하다.
이 설비는 금속, 반도체, 산화물 등 박막을 제조하는데 사용되며 정기적으로 진공시스템, 전원과 표적재를 유지보수하여 공정안정성과 박막품질을 확보해야 한다.
구조 구성
진공시스템: 진공펌프, 진공강체 등으로 구성되어 진공환경을 제공하는데 사용되며 사출과정이 저기압에서 진행되도록 보장한다.
직류 전원 시스템: 음극 표적에 일정한 음전압을 제공하여 휘광 방전을 유발한다.
가스 공급 시스템: 가스 저장 탱크, 품질 유량계 등을 포함하며, 아르곤 가스와 같은 적절한 작업 가스를 진공 챔버 내에 충전하는 데 사용됩니다.
표적재와 기판설치시스템: 표적재는 음극에 설치하고 기판은 양극부근의 견본대에 고정되며 견본대는 일반적으로 가열, 회전하여 박막의 균일성을 높일수 있다.
자기장 시스템: 표적재 표면에 직교 자기장을 설치하여 전자의 운동 궤적을 구속하고 플라즈마 밀도를 높이는 데 사용한다.
응용 분야
장식 도금: 금, 은, 크롬 등 금속 장식 막층, 예를 들어 시계 케이스, 안경 프레임, 자동차 액세서리 등을 제조하는 데 사용된다.
공구 경질 코팅: TiN, CrN 등 경질 금속 질소화물 박막을 퇴적하여 공구, 금형의 내마모성과 사용 수명을 향상시킬 수 있다.
마이크로전자 상호 연결선: 알루미늄, 구리 등 금속 박막을 집적 회로 중의 상호 연결선으로 제조하여 회로 신호의 전송을 실현하는 데 사용한다.
태양전지 배전극: 알루미늄, 은 등 금속 배전극을 제조하여 태양전지의 광전 전환 효율을 높일 수 있다.