설비 선형 및 기술 노선: 질소 발생기는 필름 분리, 변압 흡착 (PSA) 등의 기술을 사용한다.PSA 기술은 흡착제를 통해 질소를 분리하는 등 질소 순도와 안정성에 미치는 영향이 다르다. 순도는 95%-99.999% 에 달하지만 필름 분리 기술은 보통 90%-99.5% 에 달한다.응용 장면에 적합한 기술을 선택하는 것이 관건이며, 고정밀 실험은 고순도 기술을 선택해야 한다.

공기 예처리 품질: 공기 중의 수분, 유분과 먼지는 질소 가스 순도를 낮출 수 있다.공기 사전 처리 시스템은 고효율 필터와 건조기를 갖추고 불순물을 제거하고 입력 공기를 깨끗하게 해야 한다.예처리가 부족하면 질소 순도가 떨어지고 백엔드 설비까지 오염시킬 수 있다.

조작 파라미터 제어: 흡기 압력, 유량과 온도 등 파라미터는 합리적으로 설정해야 한다.예를 들어, PSA 시스템 작동 압력은 4bar에서 6bar로, 순도는 99.5%에서 99.9%로 증가하지만 에너지 소비량은 약 20% 증가합니다.최적 유속과 온도를 유지하는 것도 매우 중요합니다. 유속 편차의 10% 는 순도를 2% 낮출 수 있습니다. 온도가 10 ℃ 상승하면 순도를 0.7% 낮출 수 있습니다.

환경 조건: 설비 주변 환경은 건조하고 청결해야 하며 먼지와 습기 오염을 피해야 한다.통풍과 온도 제어는 순도와 안정성을 높이는 데 도움이 되며, 고온 환경은 설비의 과열을 초래하여 성능에 영향을 줄 수 있다.

설비 유지 보수 및 부품 노후화: 필터, 흡착제, 필름 등 핵심 부품을 정기적으로 교체하여 설비가 정상적으로 작동하도록 확보한다.흡착제가 포화되거나 필름 재료가 무력화되면 순도가 떨어지기 때문에 분기마다 고온 재생을 하거나 3~5년마다 부품을 교체해야 한다.

정기적인 검측 및 교정: 검측 설비를 사용하여 질소를 샘플링 분석하여 예상 순도에 부합하도록 확보한다.이상이 발생하면 즉시 설비 조작을 조정하여 품질을 안정적으로 유지한다.