침수 초음파 현미경(SAM)은 초음파가 액체에서 전파되는 특성을 이용해 재료 내부 구조를 고해상도로 영상화하는 무손실 검사장비다.그것은 무손실 검측, 내부 결함 분석 또는 미시적 구조 관찰이 필요한 장면에 광범위하게 응용되며, 특히 반도체와 전자 산업, 재료 과학 및 연구 개발, 자동차 및 항공 우주 제조 등 분야에서 중요한 응용이 있다.
침수 초음파 현미경은 초음파 프로브를 통해 초음파 빔을 발사하고, 액체 결합 매체 (일반적으로 물) 를 거쳐 공작물의 상표면에 도달하여 상표면 반사파를 형성한다.초음파 빔이 가공소재를 통과할 때 재료 내부의 결함 (예: 균열, 틈새, 구멍 등) 에 부딪히면 서로 다른 반사파와 굴절파가 형성된다.이러한 파를 수집하여 분석하면 재료 내부의 초음파 강도 이미지를 얻을 수 있어 결함의 위치, 면적, 비율 등의 데이터를 정확하게 판단할 수 있다.
침수 초음파 현미경의 주요 배치는 공업용 컴퓨터, 채집 분석 소프트웨어, 초음파 에너지 교환기 (프로브), 공정 제어기, 물 순환 시스템, 스테인리스강 프레임 구조 및 운동 모듈 등을 포함한다.그 중 초음파 에너지 교환기는 초음파 주파수를 결정하는 핵심 부품이며, 그 주파수 범위는 일반적으로 10MHZ에서 2000MHZ 사이이다.
적용 시나리오
반도체와 전자 업계: 칩 패키징 검사, 웨이퍼 검사 및 전자 부품 실효 분석에 사용됩니다.예를 들어, 칩과 기판 사이의 용접 품질, 웨이퍼 결합 품질 평가, 용량, 저항 등 패시브 소자의 내부 균열 검사 등을 검사한다.
재료 과학 및 연구 개발: 복합 재료 검사, 금속 및 합금 검사 및 나노 재료 및 박막 분석에 사용됩니다.예를 들어, 탄소 섬유 강화 폴리머의 계층화, 금속 용접 헤드의 내부 결함, 나노 코팅 두께 측정 등을 검사합니다.
자동차와 항공우주제조: 자동차부품검측과 항공우주구조부품검측에 사용된다.예를 들어, 엔진 실린더/실린더 덮개의 주조 결함, 항공기 터빈 날개의 냉각 구멍 막힘, 복합 재료 날개의 충격 손상 등을 검사합니다.