반도체, 태양광, 마이크로전자 등 정밀 제조 분야에서는 실리콘 조각 세척 후 건조 공정이 중요한 일환이다.어떤 잔류한 물때, 워터마크 또는 오염물도 전체 제품의 양률의 절벽식 하락을 초래할 수 있다.실리콘 칩 펌프는 이 단계의 핵심 설비로서, 그 성능의 우열은 제품의 품질과 생산 원가에 직접적으로 관계된다.시장에 눈이 휘둥그레진 제품에 직면하여 어떻게"구덩이를 밟는"것을 피면할것인가?다음 주요 매개 변수는 선택 시 가장 중점적으로 고려해야 할 핵심입니다.
1. 핵심 구동력: 모터와 회전 속도 제어
전기기계는 제트기의"심장"으로서 그 성능은 설비의 안정성과 수명을 직접 결정한다.
구덩이 피난점: 저질 교류 전기기계나 제어 부정확한 전기기계를 경계한다.이런 종류의 전기기계는 왕왕 시동 충격이 크고, 회전 속도가 불안정하며, 소음 진동이 높기 때문에 고속으로 회전할 때 취약한 실리콘 조각에 은열 심지어 파편을 일으키기 쉽다.
주목:
1.모터 유형: 우선적으로 브러시 없는 직류 모터를 선택한다.그것은 속도조절범위가 넓고 운행이 평온하며 통제가 정확하고 효률이 높으며 수명이 긴 등 장점을 갖고있다.
2. 제어 방식: 주파수 변조를 지원해야 합니다.우수한 제트기는 완시동과 완정지 기능을 갖추어야 한다. 즉 회전속도가 평온하고 선형적으로 상승하고 하강할수 있으며 규소조각에 대한 기계응력충격을 최대한 줄일수 있다.
3.최고 회전 속도: 공정 수요에 따라 확정해야 한다.일반적으로 더 높은 회전 속도는 더 큰 원심력을 생성하고 건조 효과가 더 좋지만 실리콘 조각의 크기와 취약성도 함께 고려해야 한다.
2. 공예 적합성: 온도 제어와 분위기 시스템
단순한 원심력은"워터마크"문제를 피할 수 없으며, 특히 초정밀 회선의 실리콘 조각에 대해서는 더욱 그렇다.따라서 온도 제어와 분위기 시스템은 현대 제트기의 표준이다.
구덩이 회피점: 원심 분리 기능만 있는'베어 메탈'.요구가 엄격한 공예에 대해 이런 설비는 건조한후 규소조각의 표면에 제거하기 어려운 물얼룩자국이 쉽게 형성된다.
주목:
1. 가열 기능: 설비에 가열 모듈이 있습니까?작동 온도 범위는 얼마입니까?예를 들어, 실내 온도 ~ 120 ℃ 입니다.적당한 가열 (예: 50-80 ℃) 은 액체의 휘발을 효과적으로 가속화하고 느린 건조가 워터마크를 형성하는 것을 방지할 수 있다.
2.분위기 유형: 불활성 가스 (예: 고순도 질소 N₂) 주입을 지원합니까?질소를 통하면 강체내의 공기와 산소를 치환하여 규소조각의 표면이 고온과 습한 환경에서 산화되여 새로운 오염을 형성하는것을 방지할수 있다.
3.가스 흐름 제어: 정확한 가스 유량계 및 제어 시스템이 있습니까?안정적이고 적당한 기류는 공예의 중복성을 보장하는 관건이다.
3. 호환성과 생산능력: 캐비티 크기와 꽃바구니 적합
제트기의 강체 설계는 그것이 어떤 제품을 처리할 수 있는지, 그리고 한 번에 얼마나 처리할 수 있는지를 결정한다.
구덩이 회피점: 캐비티 크기 또는 꽃바구니 인터페이스가 기존 생산라인과 일치하지 않아 설비를 사용할 수 없거나 추가 사용자 정의가 필요하여 원가와 주기를 증가시킨다.
주목:
1.캐비티 용량 및 크기: 4인치, 6인치, 8인치, 12인치와 같은 처리가 필요한 실리콘 칩 크기와 꽃바구니/슬라이스 프레임의 유형 및 수량을 명확히 합니다.캐비티 내부 공간이 충분하고 실리콘 케이스를 넣은 후 캐비티 벽과 간섭하지 않도록 하십시오.
2. 꽃바구니 어댑터: 장치에서 제공하는 꽃바구니 받침대(Adapter)가 공장에서 사용하는 표준 꽃바구니(예: SEMI 표준 꽃바구니)와 일치하는지 확인합니다.일치하지 않으면 운행 중 꽃바구니가 흔들려 파편이 될 수 있습니다.
4. 안정성의 초석: 진동과 동평형
진동은 실리콘 조각 건조기의 대적으로 파편률과 직접 연결된다.
피갱점: 설비가 운행될 때"지동산요"또는 부동한 부하하의 진동폭의 차이가 크다.
주목:
1.동적 균형 기술: 제조업체가 어떤 동적 균형 기술을 채택했는지 묻는다.우수한 설계는 일반적으로 전체식 회전자동균형교정을 채용하여 회전시스템이 고속하천에서 평생 안정되도록 확보한다.
2. 충격 흡수 시스템: 장치에 고성능 충격 흡수 스프링이나 댐퍼와 같은 효율적인 충격 흡수 장치가 있는지 확인합니다.
3.진동 데이터: 제조업체가 비어 있거나 가득 찬 조건에서의 진동 테스트 데이터를 제공하고 진동 표준을 이해하도록 요구합니다.
5. 지능화와 신뢰성: 인간과 컴퓨터의 상호작용과 안전방호
현대 생산은 추적 가능하고 조작이 쉬우며 절대적인 안전을 중시한다.
구덩이 회피점: 조작 인터페이스가 복잡하고 이해하기 어려우며 공정 매개 변수를 저장할 수 없고 안전 보호 조치가 누추하다.
주목:
1. 제어 시스템: PLC+ 터치스크린은 현재의 주류이자 선택이다.인터페이스는 회전 속도-시간-온도 커브와 같은 여러 공정 레시피를 쉽게 설정, 저장 및 호출할 수 있도록 직관적이어야 합니다.
2.안전 잠금: 반드시 뚜껑판 안전 잠금 스위치를 설치해야 한다. 즉, 운행 중 뚜껑이 열리지 않으면 뚜껑이 자동으로 정지된다.이것은 가장 기본적인 신변 설비 안전 보장이다.
3.재질 및 밀봉: 캐비티 및 공정 가스, 액체와 접촉하는 부품은 스테인리스 스틸 (예: 304 또는 316L) 과 같은 부식 방지 재료를 사용해야합니다.좋은 밀봉 성능으로 건조한 분위기의 효과와 안전성을 보장합니다.