진공관식로는 진공 또는 보호분위기 환경에서 재료를 가열처리하는 설비로 반도체, 신에너지, 신소재 연구개발, 금속소결 등 분야에 널리 응용된다.그 선택구매는 기술매개변수, 성능안정성, 안전성 및 성가비 등 다방면의 요소를 종합적으로 고려해야 한다.다음은 핵심부품, 기능수요, 안전성능 등 각도에서 진공관식로의 선택구매요구를 상세히 서술한다.

1. 난로체 구조와 재질

1. 파이프 지름과 길이

- 시료 크기에 따라 난로관 직경(일반규격은20-100mm)을 선택하고, 재료와 가스의 흐름을 용이하게 하기 위해 최소 20%의 공간 여유를 남겨야 한다.

- 가열구역 길이는 샘플 가열 수요를 커버해야 하며, 일반 모델은 200-600mm이며, 특수 수요는 맞춤형으로 제작할 수 있다.

2. 난로관 재질

- 석영관: 고온(최고 1100℃)에 강하고 투광성이 좋아 부식성 없는 분위기(예: 진공, 불활성 가스)에 적합하지만 아삭아삭하고 열진 안정성이 떨어진다.

- 강옥관(산화알루미늄): 내온이 더 높음(1600℃까지), 내열진성이 강하여 활발한 금속이나 부식성 분위기에 적합하지만 장기간 사용하면 쉽게 석화되여 변형된다.

- 스테인리스 강관: 저온(<1000℃) 또는 수소 함유 분위기에 적합하며 비용은 낮지만 고온과 부식에 약하다.

3. 컴포넌트 가열

- 저항사 가열(예: 몰리브덴 와이어, 실리콘 몰리브덴 막대): 중고온(<1700℃)에 적합하며, 온도 제어 정밀도가 높지만 몰리브덴 와이어는 수소에서 쉽게 바삭해진다.

- 유도 가열: 온도 상승 속도가 빠르고 고온 단시간 작업에 적합하지만 장비 비용이 많이 듭니다.

- 적외선 복사 가열: 접촉 오염은 없지만 온도 균일성이 떨어지므로 반사 덮개 설계에 맞추어야 한다.

2. 진공 시스템과 분위기 제어

1. 진공도 요구

- 기초형: 기계식 펌프 + 분자 펌프 조합으로 진공도가 10⁻³~10⁻ Pa에 달해 대부분의 재료 소결 수요를 충족시킬 수 있다.

- 고진공형: 터보분자펌프나 이온펌프를 배치해야 하며, 진공도가 10⁻~10⁻Pa에 달하며 반도체 외연성장 등 고정밀 공정에 적용된다.

2. 분위기 호환성

- 공정에 필요한 분위기 유형 (예: Ar, N, H, 혼합 가스) 을 명확히 하고 해당하는 밀폐 구조 및 공기 흡입 시스템을 선택합니다.

- 부식성 가스(예: Cl, NH)와 관련된 경우 내식성 재질(예: 쿼츠 안감 + 스테인리스 외강)을 사용하고 배기가스 처리 장치를 배치해야 한다.

3.가스 회로 제어

- 질량 흐름 컨트롤러(MFC)는 멀티플렉싱 가스 혼합 또는 동적 전환 시나리오에 적합한 정확한 공기 흐름 조절을 제공합니다.

- 압력 배출 밸브와 압력 센서를 안전하게 하여 과압 폭발 위험을 방지합니다.

3. 온도제어와 균일성

1. 온도조절 방식

- PID 지능형 온도조절: 열전쌍(K형, S형)을 통해 실시간 온도를 피드백하고 온도조절 정밀도 ±1~2℃로 대부분의 실험에 적합.

- 다단 프로그램 온도 조절: 30단 이상의 온도 상승/보온/냉각 곡선 프로그래밍을 지원하여 사다리꼴 소결과 같은 복잡한 공정 요구를 충족시킵니다.

- 적외선 온도 측정 또는 광학 고온계: 비접촉식 온도 측정으로 고온이나 부식성 환경에 적합하지만 비용이 많이 듭니다.

2.온도균일성

- 가열구역 온도차는 ±5 ℃ 이내로 조절해야 하며, 이중 가열체, 균일열풍도 또는 회전로관 설계를 통해 실현할 수 있다.

- 핫 커플링 위치를 정기적으로 조정하여 핫 커플링 오프셋으로 인한 온도 측정 오차를 방지합니다.

4. 보안 성능 및 액세스 가능성

1. 안전 보호

- 초온보호: 독립온도제어기가 난로의 온도를 모니터링하여 촉발 후 자동으로 단전한다.

- 진공 실효 보호: 진공도가 설정치보다 낮으면 자동으로 보호 가스를 충전하고 정지합니다.

- 방폭 설계: 난로체는 폭발구 또는 방폭막을 갖추어 기체가 순간적으로 팽창하여 폭발을 일으키는 것을 방지해야 한다.

2.관찰 및 조작 편의성

- 석영 관찰창: 시료 상태를 실시간으로 관찰하기 편리하며 고온 방사선 도금 처리가 필요합니다.

- 터치스크린 + 휴먼 컴퓨터 인터페이스(HMI): 매개변수 설정 및 프로그램 스토리지를 단순화하고 원격 제어를 지원합니다.

3 데이터 로깅 및 내보내기

- 온도, 압력, 트래픽 등의 데이터를 실시간으로 기록하는 레코더 또는 USB 인터페이스가 내장되어 있어 후속 분석을 용이하게 합니다.

5. 공급업체 자질과 애프터서비스

1. 브랜드와 사례

- 업계 경험을 갖춘 브랜드 (예: Carbolite, Thermal Technology, 허페이커징 등) 를 우선적으로 선택하여 동종 제품의 사용자 평판을 고찰한다.

- 특히 프로세스 시나리오와 유사한 응용 사례에 대한 성공 사례 보고서가 필요합니다.

2. 定制能力

- 초고온, 대형 노관, 급속 냉각과 같은 특수 요구 사항은 공급업체의 비표준 설계 능력을 평가해야 합니다.

- 납품 주기 및 보증 기간 확인(일반적으로 핵심 부품 1년 보증).

3. 판매 후 지원

- 설치 교육, 공정 디버깅 지침 및 평생 유지 관리 서비스 제공 여부

- 예비 부품의 공급 주기와 가격은 명확하게 해야 하며, 후기 사용 비용이 너무 많이 들지 않도록 해야 한다.