디지털 진공 센서는 대기압보다 낮은 진공 환경의 압력을 측정해 결과를 디지털 형태로 보여주는 정밀 기기다.그것은 과학 연구, 공업 및 의료 등 분야에 광범위하게 응용되며, 현대 진공 기술의 핵심 부품이다.

1. 작업원리

그 핵심은 서로 다른 물리 원리에 기초하여 압력 변화를 감지한다.주요 기술은 다음과 같습니다.

압력저항식: 반도체재료의 압력저항효과를 리용하여 압력변화가 저항변화를 초래하고 나아가 전신호로 전환된다.중저진공 범위(예: 1000Pa~0.1Pa)에 적용됩니다.

커패시터식: 압력 민감 필름과 고정 전극 사이의 커패시터의 변화를 측정하여 압력을 측정하며, 고정밀도와 안정성을 가지고 있으며, 중고진공 측정에 자주 사용된다.

열전도식 (피라니계): 기체의 열전도성이 압력과 관련된 원리에 근거하여 가열소자의 저항변화를 통해 간접적으로 압력을 측정하는데 주로 굵고 낮은 진공 (대기압에서 0.1Pa까지) 을 대상으로 한다.

이온화식 (예: 냉음극, 열음극): 고진공 및 초고진공 (0.1Pa 미만) 에서 기체 분자의 이온화로 발생하는 이온 흐름을 통해 압력을 측정하여 민감도가 높다.

센서는 감지된 물리적 변화를 아날로그 전기 신호로 변환하고, 내장된 아날로그 동글(ADC)과 마이크로프로세서를 통해 신호 처리, 온도 보정 및 선형화 보정을 수행하여 최종적으로 정확한 압력 수치를 디지털 화면에 직관적으로 표시합니다.

2. 기술특징

디지털 통합: 압력 값을 직접 표시하고 직관적으로 읽으며 단위 전환 (예: Pa, mbar, Torr) 을 제공합니다.

고정밀도와 안정성: 첨단 보상 알고리즘을 사용하여 환경 온도 이동과 장기 이동의 영향을 줄입니다.

다기능 인터페이스: 일반적으로 RS485, RS232, 4-20mA 또는 이더넷과 같은 출력 인터페이스를 갖추고 있어 자동 제어 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.

넓은 범위와 호환성: 일부 센서는 여러 수준의 압력 범위를 커버할 수 있으며 부식성, 인화성 등 다양한 가스 환경에 적응할 수 있습니다 (특수 설계 필요).

3. 주요 응용

공업제조: 반도체칩제조, 진공도금막, 전자빔용접, 야금열처리 등 공정과정의 진공도감시.

과학 기기: 동기 방사 장치, 입자 가속기, 전자 현미경, 질량 분광기 등 초고진공 시스템의 압력 모니터링.

냉방과 난방: 에어컨 냉방 시스템의 진공 누출 검사와 진공 흡입 과정 제어.

의료기기: 진공랭동건조, 멸균설비, 중앙음압흡인시스템의 압력관리.

신에너지와 과학연구: 리튬이온 배터리 건조, 우주 환경 시뮬레이션, 재료 표면 분석 등.

요약

디지털 진공 센서는 첨단 감지 기술과 디지털 처리를 결합하여 진공 환경에 대한 정확하고 신뢰할 수 있으며 편리한 측정을 실현하였으며 제조 및 최첨단 과학 연구를 추진하는 핵심 부품입니다.그 기술은 지속적으로 더 높은 정밀도, 더 넓은 양정, 더 강한 교란 방지 능력과 지능화 네트워크화 방향으로 발전하고 있다.