일전, 청화대학에서 완성한"고측속 다축 고해상도 레이자간섭측정기술과 계기"프로젝트가 2018년도 중국계량시험학회 과학기술진보 1등상을 수상했다.
계량은 과학기술의 기초이며 인류가 세계를 인식하는 도구이다. 인류력 *의 3차례의 기술혁명은 모두 계량시험기술의 돌파와 밀접한 관계가 있다. 계량시험과학기술성과는 기타 과학기술의 진보와 발전을 추진하는데 중요한 촉진과 역할을 한다.레이저 간섭 측정은 초정밀 측정 제어와 미나 척도 측정을 실현하는 효과적인 수단이며, 추적 가능한 나노 측정을 보장하는 중요한 경로이며, 또한 계량 강국, 제조 강국 *으로 나아가는 핵심 계량 테스트 기술이다.
프로젝트 팀은 광각기 부품대에 대한 초정밀 위치, 기초 계량 측정 및 기기 응용 중 레이저에 대한간섭의고동태, 고해상도, 크로스 척도와 추적 가능한 등 측정 수요, 측정 원리, 방법과 측정 시스템 계기화 중의 공통성 과학기술 문제 연구를 깊이 전개하고, 집적 다축 간섭, 신호 변조와 굴절률 보상 등 관건 기술을 돌파하여 전체 자주적인 고성능 레이저 간섭 측정 시스템을 형성한다;길이나 주파수 기준으로 거슬러 올라갈 수 있는 일련의 레이저 간섭 측정 방법을 제시하여 불확정도가 피, 나노급의 고정밀 측정을 실현한다;일련의 지식 제품 성과를 형성했고, 연구 성과는 중국이 자체 개발한 광각기의 고정밀 위치, 레이저를 지탱했다측진기의 신호 해조 등 응용은 국가"12.5"과학기술 혁신 성과 전시회에 선정되었다.
프로젝트는 간섭기 부품, 신호 탐지 해조에서 다자유도 탐지 방안 설계에 이르는 전체 체인 자체 연구 개발의 높은 속도 측정, 다축 대량 거리, 고해상도 레이저 간섭 측정 시스템을 실현하였으며, 광주파수 추적 가능 계열화 레이저 간섭 정밀 길이 측정 방법을 제시하였다.지금까지 프로젝트는 라이선스 발명 전문 li20여 개를 획득하였고, SCI 수록 논문 30여 편을 발표하였다.
또한, 프로젝트 팀이 개발한 포토레지스트용 이중 주파수레이저 간섭기시스템, 중국 자체 연구 광각기 부품 대 시제품 연구 개발 과정에 성공적으로 응용, 누계 50여 대의 시제품을 응용하여, 광각기 이중 부품 대 시제품의 정밀 측정 수요를 잘 만족시켰고, 광각기용 이중 주파수 레이저 간섭기 능력의 형성을 지탱하였으며, 해외 관련 기기에 대한 의존을 경감시켰으며, 중국 장비와 기기 연구 개발에 성능이 우수하고 남에게 얽매이지 않는 측정 및 추적 능력을 제공하였다.
"중국계량시험학회 과학기술진보상"은 국가과학기술장려판공실에 등록등록한 성부급 과학기술진보상이다.그중 1등상을 신고한 항목은 전반 기술이 이미 정식으로 3년 이상 응용되였고 비교적 큰 경제효익 또는 사회효익을 거두어야 한다.현재 제품은 이미 항공우주, 자동차제조, 선반검측 등 여러 분야에 성공적으로 응용되여 중국제조제품의 품질을 제고하는 유력한 버팀목도구로 되였다.