반도체 제조 공정에서 각식은 핵심 공정 단계로서 그 정밀도는 칩 성능의 우열을 직접 결정한다.전통적인 측정 방법은 복잡한 각식 단면에 직면할 때 종종 힘에 부치는데, Sensofar S neox 3D 광학 프로파일러의 출현은 이 난제에 획기적인 해결책을 가져왔다.

부식 공예는 습식 또는 건식 방식을 통해 웨이퍼 재료를 선택적으로 제거하여 회로 특징을 형성한다.이 과정에서 부식 깊이의 균일성과 측벽 각도의 정밀도는 부품의 성능에 영향을 주는 관건적인 매개 변수가 된다.특히 부품 크기가 계속 줄어들면서 측정 정밀도에 대한 요구도 높아지고 있다.

Sensofar S neox 3D 광학 프로파일러는 50배 간섭 렌즈 측정 기술을 사용하여 부식 단면의 3D 프로파일 정보를 정확하게 포착할 수 있습니다.이러한 비접촉식, 고해상도 측정 방식은 제조업체에 효과적인 공정 모니터링 수단을 제공한다.

선진의 SensoPRO 소프트웨어를 통해 시스템은 나노급 고도의 자동 분석을 실현할 수 있어 측정 효율과 정확성을 크게 향상시켰다.이러한 기술적 돌파는 부식 특징이 치수 공차 요구에 엄격히 부합할 수 있도록 하여 공정 최적화에 신뢰할 수 있는 데이터 지원을 제공한다.

S neox 광학 프로파일러는 공초점, 간섭, Ai 다초점 중첩 및 필름 두께 측정의 네 가지 기술을 통합하여 완전한 측정 솔루션을 형성합니다.이러한 다중 기술이 융합된 디자인 이념은 각종 복잡한 측정 장면에 대응할 수 있도록 한다.

공통 초점 기술최대 Gao 제공의 가로 해상도는 0.14 μm 수평 해상도로 중요한 치수 측정의 까다로운 요구 사항을 충족합니다.기술 간섭특히 매끄럽고 연속적인 표면의 표징에 적합한 아에 해상도의 높이 측정을 실현할 수 있다.

Sensofar는 사용자 경험에 최적화되어 있습니다.SensoSCAN 소프트웨어는 사용자가 한 번의 클릭으로 자동 측정을 완료할 수 있는 명확하고 직관적인 조작 인터페이스를 제공합니다.시스템은 zui jia 조명 조건과 측정 범위를 지능적으로 식별하여 몇 초 안에 고품질 결과를 얻을 수 있습니다.

자동 측정 모듈 지원을 통해 사용자는 사용자 정의 프로그래밍을 쉽게 구현하고 품질 관리 및 테스트 목표를 달성 할 수 있습니다.영상 자동 식별 대위점 기능을 통해 아무도 관여하지 않는 완전 자동화 측정을 실현하여 검측 효율을 현저하게 향상시켰다.

이 기술은 여러 분야에서 강력한 이점을 제공합니다.

마이크로 전자 제조중, 나노 압력 센서의 초기 편향을 빠르고 손상 없이 측정할 수 있다;

정밀가공영역, 복잡한 공구의 절삭날 매개변수를 정확하게 측정할 수 있습니다.

의료 장비업계, 치과 이식체의 표면 형태 분석을 지원합니다.

Sensofar는 항상 가장 gao 품질 표준을 고수하며 모든 장치 wan은 ISO25178 표준을 따릅니다.시스템은 측정 데이터의 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해 추적 가능한 표준 블록을 사용하여 교정합니다.이런 엄밀한 품질통제체계는 과학연구와 공업생산에 신뢰할수 있는 측정보장을 제공해주었다.

반도체 기술이 끊임없이 발전함에 따라 측정 정밀도에 대한 요구는 지속적으로 향상될 것이다.Sensofar S neox 3D 광학 프로파일러는 기술 혁신을 통해 부식 단면 측정을 위한 새로운 업계 표준을 설립하여 제조업이 더 정밀하고 지능적인 방향으로 나아갈 수 있도록 돕는다.

이 기기는 현재 광학 측정 기술의 가장 gao 수준을 대표할 뿐만 아니라 미래의 마이크로 나노 제조 발전을 위해 튼튼한 기초를 다졌다.뛰어난 성능과 신뢰할 수 있는 성능은 과학 연구 기관 및 기업의 품질 관리에 이상적입니다.