1. 핵심 고장 진단 및 처리 방안
전원 시스템 장애
현상: 장치 무반응, 전류 전압 이상 파동
진단 단계:
전원 코드, 플러그, 콘센트 연결이 견고한지 확인하고 만용계를 사용하여 전압 출력 안정성을 테스트합니다.
전원 모듈 내부 회로를 감지하고 퓨즈가 녹았는지 또는 커패시터 센싱이 노화되었는지 확인합니다.
솔루션:
고무 부품을 다시 연결하고 손상된 전원 코드나 콘센트를 교체합니다.
전원 공급 장치 모듈을 고치거나 교체하여 전압 출력이 장치 사양을 충족하는지 확인합니다.
진공 시스템 장애
현상: 진공도 부족, 공기 흡입 시간 연장
진단 단계:
헬륨가스 누출검사기를 사용하여 진공관, 밀봉권 또는 펌프체 누출점을 위치시킨다.
진공 펌프의 유위와 유질을 검사하고 펌프체에 이상 소음이나 과열이 있는지 관찰한다.
솔루션:
노후화된 밀봉 코일을 교체하여 플랜지 인터페이스를 단단히 느슨하게 합니다.
진공 펌프 오일을 세척 또는 교체하고 펌프 기계 고장을 복구합니다.
사출 과정 이상
현상: 표적재가 휘황을 일으키지 못하고 박막의 두께가 고르지 않다
진단 단계:
표적재 설치가 수직인지, 표면에 산화층이나 오염물이 있는지 검사한다.
표적재와 지선간의 절연저항을 측정하여 단락위험을 제거한다.
사출 전압/전류 곡선을 모니터링하여 아크 방전이나 패턴 전환이 있는지 판단한다.
솔루션:
표적재를 다시 설치하고 간격을 조절하여 이소프로필알코올로 표면을 깨끗하게 한다.
지선 연결을 복원하고 절연 패드를 추가합니다.
전원 일치 매개변수를 최적화하여 아크 방전을 억제합니다.
가스 제어 시스템 고장
현상: 가스 유량 불안정, 반응 가스 비율 불균형
진단 단계:
질량유량계 교정 상태를 점검하고 밸브가 누출됐는지 살핀다.
잔여 가스 성분을 분석해 외부 가스 침투 여부를 확인한다.
솔루션:
MFC를 재조정하고 누출 밸브를 교체합니다.
가스 회로 배치를 최적화하고 가스 순화 장치를 증가시킨다.
2. 시스템 유지 보수 정책
일상적인 유지 관리
청소 관리:
매일 먼지 없는 천으로 설비 케이스를 닦아 먼지가 쌓이지 않도록 한다.
매주 사출실 내부를 청소하고 전용 용제를 사용해 표적재 잔여물을 제거한다.
매개변수 모니터링:
진공도, 사출 전압/전류 등 핵심 매개변수를 기록하고 추세 분석 도표를 작성한다.
정기적으로 냉각액의 액위 및 온도를 검사하여 방열 시스템이 정상적으로 작동하도록 확보한다.
정기 점검 수리
전기 시스템:
전원 코드, 대시보드 커넥터의 산화 여부를 확인하고 나사를 고정하고 느슨하게 합니다.
고압 전원 출력의 안정성을 테스트하고 노후된 용량을 교체합니다.
기계 부품:
진공 펌프 회전 부품을 윤활시키고 마모된 벨트나 베어링을 교체합니다.
표적재 회전기구의 유연성을 검사하여 정체된 이물질을 제거한다.
진공 시스템:
진공실 코일을 교체하다.
진공관 내벽을 세척하여 퇴적물을 제거하다.
예방 유지 관리
소모품 관리:
표적재, 밀봉권 등 소모품 재고 경보 메커니즘을 구축하여 부품 부족으로 인한 정지를 피한다.
중독에 강한 표적재를 우선적으로 선택하다.
환경 제어:
실험실의 온도와 습도를 안정적으로 유지하고 설비의 응축 위험을 줄인다.
정전기 방지 바닥을 설치하여 전기 부품이 정전기에 뚫리지 않도록 하다.
3. 관건적인 주의사항
보안 작업:
유지 보수 전에 전원을 끄고 고압 용량의 전원을 방출해야 합니다.
절단 방지 장갑을 착용하고 표적재를 처리하여 금속 부스러기가 긁히지 않도록 한다.
데이터 백업:
정기적으로 디바이스 제어 소프트웨어 매개 변수를 백업하여 시스템 충돌로 인한 프로세스 손실을 방지합니다.
ProSupport:
복잡한 고장은 원래 공장 엔지니어에게 연락하여 수리해야 하며, 비허가 해체로 인해 무상수리가 효력을 잃지 않도록 해야 한다.