다음은 무선 주파수 자기 제어 사출 도금기를 사용하여 스캐닝 렌즈 샘플에 전도막을 도금하는 구체적인 절차입니다.

1.사전 준비

적합한 표적재 선택: 필요한 박막의 성질에 따라 상응한 표적재를 선택하는데 흔히 볼수 있는것은 금, 백금, 금팔라듐합금, 은, 납, 동, 크롬, 안티몬 등이다.서로 다른 표적재는 최종적으로 형성된 전도막의 성능 특징에 영향을 줄 수 있다.

준비기재 (견본): 도금할 견본의 표면이 오염되지 않도록 확보하고 필요시 이를 연마, 광택 또는 화학세척 등 예처리조작하여 량호한 부착력과 도금효과를 보장할수 있다.

2. 무선 주파수 자기 제어 사출 도금기 시스템 진공 흡입

설비 관련 장치 가동: 순환수를 켜고 총 전원을 켠 다음"도금실 기계펌프"와"견본실 기계펌프"를 가동하고, 이어서 두 개의 35각 밸브를 최대 위치로 켭니다.열쌍진공계가 압력이 10pa보다 작다는 것을 표시할 때 이 두 개의 35각 밸브를 닫는다;이후'도금실 전급 밸브'와'샘플실 전급 밸브'를 열고 분자펌프를 가동하고 녹색'운행'키를 누른다.마지막으로 도금실과 견본실 갑판 밸브를 열어 전체 열림 상태 (시계 반대 방향으로 끝까지 회전) 로 한다.분자펌프의 주파수가 도금실이 400Hz, 시료실이 450HZ에 이르는 등 안정상태에 도달하기를 기다린다. 이때 진공표시창의 수치변화상황을 다시 보고 후속절차를 계속한다.

진공도 모니터링: 전체 과정에서 예정된 높은 진공 수준에 도달할 때까지 진공도의 상승 상황을 예의주시해야 한다.고진공 환경은 가스 불순물이 사출 과정에 미치는 방해를 줄이고 퇴적 박막의 질과 순도를 확보하는 데 도움이 된다.

3. 사출 매개변수 조절

무선 주파수 출력, 작업 기압, 가스 유량과 퇴적 시간 등 파라미터를 설정한다: 이러한 파라미터의 구체적인 설정은 실험 목적 및 기재의 유형에 근거하여 확정해야 하며, 합리적인 파라미터 설정은 박막의 균일성과 부착력을 보장하는 관건적인 요소이다.예를 들어, 무선 주파수 출력을 조정하여 이온 폭격 표적의 에너지 크기를 제어할 수 있다;작업 기압과 기체 유량은 플라즈마의 농도와 분포에 영향을 미친다;퇴적 시간이 박막의 두께를 결정한다.

4. 무선 주파수 자기 제어 사출 도금기 사출 과정 시작

사전 사출은 표적재 표면을 청소한다: 무선 주파수 전원을 켠 후 먼저 사전 사출을 진행하며, 일정 시간 (예: 10분 정도) 동안 지속되며, 목적은 표적재 표면에 존재할 수 있는 산화물이나 기타 오염물을 청소하여 후속으로 정식으로 퇴적된 박막을 더욱 깨끗하게 하는 것이다.

공식 퇴적 필름: 사전 사출이 완료되면 샘플대를 열어 전원을 제어하고"시작"버튼을 눌러 샘플대가 회전하기 시작합니다.표적재 베젤과 샘플 베젤 스위치를 동시에 열면 도금막이 본격적으로 시작된다.사출 과정 중에 필요에 따라 압력의 강도를 2차 미세 조정하여 박막의 품질이 안정되도록 설정 범위 내에 유지할 수 있다.

5. 후처리 (옵션)

필요에 따라 열처리, 레이저처리 또는 화학수식 등 조작을 진행한다. 만약 퇴적된 박막에 특수한 요구가 있다면 례를 들면 결정성능을 개선하고 일부 물리적특성을 강화하는 등 사출이 완성된후 상응한 후처리공정을 진행할수 있다.그러나 이는 필수적인 단계가 아니므로 구체적인 응용수요에 따라 실시여부와 어떻게 실시할것인가를 결정해야 한다.

6. 무선 주파수 자기 제어 사출 도금기 종료 조작

장치 닫기: 도금 시간이 설정치에 도달하면 먼저 베젤 (샘플대 베젤과 표적재 베젤 포함) 을 닫고 샘플대 회전을 중지하며 샘플대 정지 버튼을 누릅니다.그런 다음 기기 제어 부분의 전력 다이얼을 최소로 끄고, 무선 주파수 전원에 대해서는 먼저 빨간색으로 끄고, 다시 노란색으로 꺼야 한다;DC 전원을 빨간색으로 직접 끕니다.이어서 Ar 가스 유량 제어 전원을 끄고 유량을 표시 수 0으로 조절하며"밸브 제어"를"종료"상태로 조작한다.마지막으로 다른 관련 설비와 밸브를 차례로 닫아 전체 도금 과정을 완성한다.

7. 샘플 추출

기압 균형을 확인한 후 꺼내기: 모든 설비를 끄고 상압을 회복하기 전에 도금실이 샘플실의 기압과 일치하는지 (모두 대기압 또는 모두 진공) 확인한 후 두 방의 조명을 켜고 이미 도금된 샘플을 조심스럽게 꺼내야 한다.