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Agilent Technologies (China) Co., Ltd
안젤렌 분광 광도계: 부능 광각기 광학 소자 성능 테스트의"광학 엔진"
날짜:2025-10-29읽기 :1
첨단 공정 노드가 계속 추진됨에 따라 반도체 제조에서 193nm ArF 준분자 레이저 광각기의 지위는 더욱 중요해졌다.그 내부에는 투영 렌즈, 마스크, 편광기, 편향 제거기, 반사경 등 고정밀 광학 소자가 많이 포함되어 있는데, 이러한 소자의 광학 성능은 칩 패턴의 해상도, 균일성과 양률을 직접 결정한다.
어떻게 연구 개발과 양산 과정에서 이러한 부품의 투과율, 반사율, 편광 응답 및 각도 의존성을 정확하게 평가합니까?안젤렌 Cary4000/5000/6000i/7000 시리즈 자외선 가시 근적외선 분광 광도계는 바로 이 도전에 이상적인 솔루션이다.
다음은 포토레지스트에서 흔히 볼 수 있는 광학 소자 및 테스트 수요이다.
렌즈, 윈도우, 마스크 등의 투과율 테스트
반사경의 45도 반사율 테스트
편광기와 퇴편기의 소광비 측정
이러한 테스트 항목과 요구는 분광 광도계의 테스트 능력에 대해 비교적 높은 요구를 제기하였는데, 테스트 난이도는 주로 다음과 같다.
193nm는 심자외선(DUV) 영역에 속하며, 미세한 환경 변화 및 시료 오염은 이 대역의 광선 흡수에 영향을 미치기 때문에 테스트 과정은 장비의 안정성에 높은 요구를 제기한다.
광각 소자의 투과율, 반사율, 소광비 등 지표의 미세한 오차는 모두 도안이 왜곡되거나 공정이 효력을 잃을 수 있기 때문에 검측 설비의 정확도와 중복성에 대해 비교적 높은 요구를 제기했다.
193nm 대각도 테스트는 편진기를 도입해야 하지만 이 주파수 대역의 편진기 재료는 가격이 비싸고 가공 난이도가 높으며 오염되기 쉽다.
안젤렌 Cary4000/5000/6000i/7000 자외선 구역은 듀테륨 램프 광원을 사용하여 175nm까지 파장 범위를 커버할 수 있으며 광전 배율 증폭관 (PMT) 검출기를 장착하여 저대역에서 초고감도 응답을 보장할 수 있습니다.이와 동시에 계기는 이중광속설계를 채용하여 광원파동과 환경교란을 실시간으로 교정할수 있어 테스트의 중복성과 정확성을 효과적으로 제고할수 있다.또한 사용자는 심자외선 편광 액세서리를 사용자 정의하고 UMA 액세서리 응용과 함께 큰 각도의 s/p 편광에서의 반사 측정과 소광비 측정을 실현할 수 있다.
왼쪽 사진: 안젤렌 Cary4000/5000/6000i/7000
오른쪽 사진: 안젤렌 Cary7000
안젤렌 캐리 시리즈 자외선 가시 근적외선 분광 광도계의 저대역 테스트 능력:
호스트 테스트 쿼츠 조각: 190-270 nm, 0 ° 투과율, 10 회 반복 측정.
193nm에서 10번 테스트한 결과 최대-최소값 극차는 0.02%T였다.
호스트 테스트 쿼츠 슬라이스 0 ° 투과율 10 회 반복 결과
완전 자동 다각도 투과율 및 절대 반사율(UMA) 액세서리, 사용자 정의 극자외선 편광기와 함께 알루미늄 도금 거울 테스트: 190-380 nm, 45 ° 절대 반사율.
큰 각도에서 Rp와 Rs는 193nm에서 신호 잡음비가 양호하다.
UMA 액세서리 테스트 알루미늄 거울 45 ° 절대 반사율 결과
선진적인 제조 과정이 끊임없이 발전하는 오늘날, 광학 소자의 성능 테스트는 이미"옵션 가능"에서"핵심 단계"로 전환되었다.안젤렌 Cary4000/5000/6000i/7000 시리즈 분광 광도계는 고정밀도, 고효율, 전체 기능의 특성으로 포토레지스트 개발, 광학 소자 선형, 재료 노화 평가, 도금 정합성 검증 등 단계의 응용을 지원하며, 그 과정에서 고정밀도 측정 분석의 중요한 역할을 발휘하여 엔지니어가 문제를 빠르게 포지셔닝하고 공정을 최적화하며 양률을 높이고 포토레지스트 공정의 높은 수준을 향해 나아갈 수 있도록 돕는다.반도체 제조 기술이 지속적으로 발전함에 따라 광학 소자 측정 분석에 대한 수요는 더욱 정교해질 것이며, 안젤렌 캐리 시리즈는 이 프로세스에 견고한 기술 지원을 계속 제공할 것이다.