체이스 Sigma 제품군

체이스 Sigma 제품군필드 송신 스캔 전자 현미경 (FE-SEM) 기술을 좋은 사용자 경험과 긴밀히 결합합니다.Sigma의 직관적인 워크플로우를 사용하여 이미지 및 분석 프로그램을 쉽게 구현하고 생산성을 향상시킬 수 있습니다.더 짧은 시간 내에 더 많은 데이터를 수집할 수 있습니다.저전압으로 1kV 이하의 전압에서 더 나은 해상도와 명암비를 제공하는 고해상도 이미징 기능Sigma는 개발 중인 신소재, 품질 검사용 입자 또는 생물 또는 지질 표본에 관계없이 다양한 샘플을 연구하는 데 도움이 되는 다양한 탐지기의 선택에 따라 응용 프로그램에 광범위하게 적용됩니다.극* 조건에서 가변압력(VP) 이미징을 이용하면 나노 VPlite를 통해 저전압에서도 비전도체에서 뛰어난 이미지와 분석 결과를 얻을 수 있다.

체이스 Sigma 제품군신뢰할 수 있는 높은 * 나노 분석 환경을 제공합니다.Sigma360은 직관적인 필드 발사 스캔 전자 현미경 (FE-SEM) 으로 분석 테스트 플랫폼이 이미징 및 분석에 사용될 수 있습니다.뛰어난 EDS 기하학적 설계로 자동 제자리 실험을 가능하게 하는 높은 통량 분석을 제공합니다.

어떤 샘플이든 정확하고 반복 가능한 분석 결과를 얻을 수 있습니다.저전압에서 민감한 샘플에서 더 풍부한 이미지 정보를 얻습니다.

오늘날의 스캔 전자 현미경 응용은 저착륙 에너지 (저전압 또는 저가속 전압이라고 함) 하의 고해상도 이미지를 표준으로 삼아야 하는데, 이는 전자빔에 민감하거나 비전도적인 샘플을 연구하는 데 매우 중요하기 때문이다.이렇게 하면 샘플의 더 깊은 배경 신호에 의해 방해받지 않고 실제 샘플 표면 정보를 얻을 수 있습니다.Gemini의 전자총 및 탐지 시스템은 저전압 및 초저전압 조건에서 고해상도 이미지를 구현하고 명암비를 강화하기 위해 최적화되었습니다.스캐닝 렌즈에서는 샘플에 전달되는 에너지가 적기 때문에 저가속 전압의 입사 전자빔은 전자빔에 민감한 샘플의 이미징에 사용된다.이와 동시에 에너지가 낮은 전자빔은 견본에 대한 투과력이 좋지 않다.이렇게 하면 민감한 샘플의 잔상이 없는 표면 디테일을 고해상도로 촬영할 수 있습니다.

저가속 전압 이미징 최적화

전자 광학 왜곡은 저전압 이미지에 더 많이 나타나는 해상도 손실을 초래할 수 있습니다.설계에 따르면 Gemini 1 렌즈의 전자빔 추진기 기술은 이미 뛰어난 저가속 전압 이미지 해상도를 제공할 수 있다.최적화된 공경과 고해상도 전자총 모드는 이제 저가속 전압의 영상 효과를 더욱 최적화할 수 있다.

고해상도 전자총 모드

고해상도 전자총 모드에서는 전자빔 색차가 낮아져 더 작은 빔 반점이 구현된다.이 모드는 1kV 이하의 전압에서 추가적인 이미지 해상도를 제공합니다.스폿라이트는 기본적으로 최적화된 전자 번들 집합이 있는 우수한 이미징 조건으로 설정됩니다.다양한 전류에 최적화된 구멍 지름을 제공하면서 고해상도를 보장할 수 있습니다.추가 스폿라이트 모드를 사용하여 이미지 심도를 최적화할 수 있습니다.

검측기

일반적으로 저입사 전자빔 전압과 저전자빔 프로브 빔 스트림을 사용하여 민감한 재료를 고해상도로 영상화할 수 있습니다.시료에서 자극된 전자를 검출하는 것과 관련될 때 효율적인 Inlens SE 탐지기는 고해상도를 제공할 수 있을 뿐만 아니라 탐침 빔 흐름이 10pA 미만일 때 명암비를 강화할 수 있다.표류 보정 프레임 평균과 같은 지능형 스캐너의 지원으로 고해상도에서도 샘플을 안정적으로 처리할 수 있습니다.

고*장 발사 스캐닝 렌즈

ZEISS GeminiSEM의 뛰어난 샘플 유연성 이용장 발사 스캐닝 렌즈는 미지를 탐색하여 아나노 이미징, 분석 및 샘플 유연성에 대한 높은 요구 사항을 충족시킵니다.이 시스템은 저전압, 고속 및 고프로브 전류 조건에서 뛰어난 해상도를 제공하면서 높은 통화량 분석을 제공합니다.높은 이미지 품질과 다기능성 고급 이미지 모드의 고효율 검측, 25여 년의 완벽한 분석을 거친 체이스 Gemini 기술 탐지기의 종류가 다양하고 커버리지가 넓다.

이 시스템은 저전압, 고속 및 고프로브 전류 조건에서 뛰어난 해상도를 제공하면서 높은 통화량 분석을 제공합니다.관찰시야가 넓고 강체가 매우 넓어 대형 샘플이라도 쉽게 검사할 수 있다.

ZEISS GeminiSEM은 두 개의 정반대의 EDS 포트와 공통 EDS/EBSD 구성을 갖추고 있어 효율적인 화학 성분과 결정 취향 표징을 제공한다.고속 그림자 없는 매핑을 신뢰할 수 있습니다.

사용자 정의 및 자동 워크플로우: 재료의 기술적 한계를 테스트해야 하는 경우 채스는 자동 제자리 가열 및 기계 응력 실험실을 제공합니다.

응용 분야 일람

기계, 광학, 전자 부품의 실효 분석

단열분석과 금상분석

표면, 미시적 구조 및 부품 표징

성분 및 위상 분포

불순물과 혼합물 측정