역세 과학 기술 용량 금속 박막 진공계

역세 과학 기술 용량 금속 박막 진공계(고온형)

고온형 커패시터 금속 박막 진공계는 단측 이중 전극 차분 커패시터 설계를 채택하여 공정 기체에 노출된 재료는 모두Inconel/Incoloy는합금, 초고감도 프런트엔드 회로 및 * 알고리즘으로 작동 압력에서 높은 감도 및 측정 정밀도, 신속한 응답, 안정적인 성능, 부식 방지 및 제공150℃에200℃두 개의 고온 버전은 침적 물질이 커패시터 필름에 미치는 영향을 크게 개선하여 제공1토막에1000개까다로운 반도체를 위한 뛰어난 성능을 갖춘 전체 범위、플라스마화고위험 재료 순화 등영역, 예정확한 총압 측정 및 제어에 이상적입니다.

장점

1.고온형 금속 박막 차분 용량 절압 센서

l고도의 민감성

l고정밀 및 반복성

l장기적인 안정성

2.센서가 모두 견고하고 부식에 강하다Inconel은合金

l기체에 의존하지 않고 측정 결과는 기체 성분과 무관하다

l부식성 또는 더러운 가스와 함께 사용 가능

l진공계 재료는 과정에 오염이 없다.

3.출력 신호가 풍부하다.

l통합이 용이하고 인터페이스가 풍부하여 다양한 시스템 통합 요구 사항 충족

l독립적유형 C진단, 디버깅, 인터페이스 구성

4.장애 출력 기능/압력 트리거 출력 기능

l릴레이를 통한 출력: 항온 고장 및 설비 고장/압력 트리거 신호

역세 과학 기술 용량 금속 박막 진공계(고온형)

기술 매개변수

지표	사양 매개변수
만각도 측정 거리	1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr，定制
정밀도	± 0.5% 의 판독
해상도	0.001%FS
권장 판독 범위	0.005V에10V@FS
압력 범위 제어 권장	0.05V에10V@FS
장치 내부 온도 옵션	150℃，200℃
예열 시간	4시간
환경 온도	15 ~50℃
트리거 기능	옵션, 2소켓 싱글 스위치, 배포 설정 가능0.1%~100% FS 임의 압력, 릴레이 용량0.6A@30VDC
장애 출력 기능	옵션, 릴레이로 온도 및 장치 고장 출력
출력	0-10VDC 아날로그 출력, > 10K 옴;RS422 출력(RS485 옵션)
전기 커넥터	D-Sub，15발, 바늘형 콘센트;8포트 플러그, 5발, 구멍 콘센트
입력 전원	±15VDC(±5%), 24VDC(±5%) 또는 20∼26VDC;피크50W@150℃，70W@200℃
과압 제한	45Psia는
공정 기체에 노출된 재료	샘플링 파이프는316L 소재, 나머지는 Inconel 및 Incoloy 합금
센서 응답 시간	50밀리초
방향 조정	기본 수직 정렬, 수평 정렬 옵션
내부 볼륨	5.1ml(샘플링 인터페이스 제외)

항주역세과학기술유한공사산업 및 과학 연구 고객에게 트래픽, 압력, 진공 감지 및 제어와 관련된 기술 서비스 및 솔루션을 제공하는 데 주력하며, 회사는 미국 판매를 대행합니다.ALICAT、스위스 Vogtlin, 미국 MKS, 일본 EBARA 등 브랜드는 대리의 제품과 결합하여 고객에게 양질의 트래픽 및 압력 모니터링 솔루션을 제공하는데, 이는 고객의 연구 개발 및 생산 효율을 제고하고, 고객의 제조 공정을 개선하며, 고객의 과학 연구 및 혁신 진도를 추진하기 위한 것이다.