역세 과학 기술 용량 복합 진공계

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개요

역세과학기술용량복합진공계 (필라니) 는 용량도자기박막센서기술과 필라센서의 장점을 한 제품에 종합하여 고정밀도와 광량정을 동시에 겸비하고있다.

제품 정보

역세 과학 기술 용량 복합 진공계피라니

역세 과학 기술 필라니 용량 복합 진공계커패시터 세라믹 필름 센서 기술과 필라 센서의 장점을 한 제품에 종합하여 고정밀도와 광량정을 동시에 겸비한다.

측정 범위3.8×10^-5< 반환에1500 트레이, 굵은 진공 세그먼트는 세라믹 커패시터 필름 센서를 사용하여 측정 정밀도가 높고 가스 유형과 관련이 없습니다.높은 진공 세그먼트 사용MEMS는필라니 센서.중화 굵은 진공 범위 측정에 적용되며, 자체 잠금 제어, 시스템 안전 회로, 전면 진공 압력 측정 및 정확한 압력 측정 및 제어에 많이 사용됩니다.성가비를 추구하는 중조 진공 범위 내에서 압력을 제어하는 것이다좋아를 선택합니다.

장점

1.복합형 압력 센서

l고정밀(10개-1500개)읽기보다 작은 <0.5%),기체 성분과는 무관하다

l광량정(3.8×10－5토막에1500토르)

2.높은 가격 대비

3.출력 신호가 풍부하다.

l통합이 용이하고 인터페이스가 풍부하여 다양한 시스템 통합 요구 사항 충족

l독립적유형 C진단, 디버깅, 인터페이스 구성

4.압력 트리거 출력 기능

5.압력 실시간 화면 표시 기능

역세 과학 기술 용량 복합 진공계피라니

기술 매개변수

지표	사양 매개변수
측정 범위	3.8×10^-5Torr ~ 1500 Torr
정밀도	3.8×10^-5 - 1×10^-⁴Torr 판독 ± 50% @ 질소/공기 교정; 1×10^-4- 20 Torr 정밀도 ±15% @ 질소/공기 교정; 0.05 - 10Torr 정밀도 ±10% @ 가스 종류에 의존하지 않음(옵션); 10 - 1500Torr 정밀도 ± 0.5% @ 가스 종류에 의존하지 않음(옵션);
해상도	0.001%FS
장치 내부 온도 옵션	비항온, 온도 보상 알고리즘
예열 시간	10분
환경 온도	0에40℃
트리거 기능	지원
출력	구성 가능0-10VDC 아날로그 출력, > 10K 옴;RS422 출력(RS485 옵션)
전기 커넥터	FCC68 8핑(선택 사항D-Sub 9핀 핀형 콘센트)8포트 플러그, 5발, 구멍 콘센트
입력 전원	9~36VDC;3W
과압 제한	2000 트레이
공정 기체에 노출된 재료	316L의, 알루미늄 세라믹, 실리콘, 실리카, 질화규소, 알루미늄, 유리, 금, 고무
센서 응답 시간	≥ 20Torr 25ms;<20Torr 50 ms
방향 조정	임의방향
내부 볼륨	1.1ml(샘플링 인터페이스 제외)

필라니 진공계기반열전도 원리, 진공 환경에서 가열사의 열 분실 속도를 측정하여 (기체 분자 밀도에 따라/압력 변화) 로 인한 저항이나 온도 변화로 진공 압력에 대한 간접 측정을 실현한다.

항주역세과학기술유한공사산업 및 과학 연구 고객에게 트래픽, 압력, 진공 감지 및 제어와 관련된 기술 서비스 및 솔루션을 제공하는 데 주력하며, 회사는 미국 판매를 대행합니다.ALICAT、스위스 Vogtlin, 미국 MKS, 일본 EBARA 등 브랜드는 대리의 제품과 결합하여 고객에게 양질의 트래픽 및 압력 모니터링 솔루션을 제공하는데, 이는 고객의 연구 개발 및 생산 효율을 제고하고, 고객의 제조 공정을 개선하며, 고객의 과학 연구 및 혁신 진도를 추진하기 위한 것이다.

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