소개

Jordan Valley 회사새로운 디자인의델타-X는 다기능 X선 회절 설비로 재료 과학 연구, 공정 개발, 생산 품질 제어에 유연하게 응용할 수 있다.Delta-X 연사기의 광원대와 탐지대의 광학 부품은자동 조정, 수평식 샘플대 사용.델타-X 회절기는 일반 회절 모드, 고해상도 회절 모드, X선 반사 모드 사이를 유연하게 전환할 수 있습니다.옵티컬 구성 전환 완료메뉴 프로그램 제어 하에 컴퓨터에서 수동으로 작업할 필요가 없습니다.자동 전환 및 정직은 전문 인력과 운영 장치가 필요하지 않으며 각 전환이 적절한지 확인합니다.의 광학 정직 상태.

일반적인 샘플 측정은 통과할 수 있다Delta-X 연사기, 부분, 나아가 완성의 자동화된 실행으로 자동화된 측정 프로그램은 고객의 요구에 따라 전문적으로 사용자 정의할 수 있습니다.채택 완료 가능에 대한 수동 모드 작업새로운 측정 방법을 개발하고 새로운 재료 체계를 연구하기 위해 Delta-X 연사기.

데이터 분석 또는 적합성은 측정 프로그램의 일부로 구현 가능자동화 또는 필요에 따라 개별적으로 데이터 분석을 수행할 수 있습니다. 반도체 생산라인의 수요에 따라RADS 및 REFS 적합성 소프트웨어는 사용자 간섭 없이 일반적인 데이터 분석을 자동화하고 데이터 적합성 및 결과 출력을 직접 완료하는 자동화 모드로 작동합니다.RADS 및 REFS 는 개별적으로 설치하여 보다 자세한 데이터 분석을 수행할 수도 있습니다.

Delta-X 연사기는 과학 연구소와 기술을 만족시킬 수 있다

기술 개발 센터서로 다른 재료 체계의방위 테스트

수요.

Delta-X 연사기의 주요 특징 및 이점

n샘플 정확도, 테스트, 데이터 분석 자동화

n고객이 직접 측정 자동화 수준을 설정할 수 있음

n300mm의 오일러 스탠드(Eulerian Cradle) 설계, 고정밀 샘플 위치 및 스캔

n300mm웨이퍼를 수평으로 배치할 수 있으며 전체매핑

n100º의 Chi축 회전 범위, 무제한 범위의극도 및 잔여 응력 테스트를 위한 Phi 축 회전 공간

n지능형 옵티컬 프로비저닝 전환 및 정확성측정 요구 사항에 따라 옵티컬 프로비저닝 자동 선택 및 옵티컬 정직 구현

n공업계먼저장치 제어 소프트웨어 및 데이터 분석 소프트웨어

n정밀하고 정확한 측정을 위한 고해상도 각도 측정기

n빠른 측정을 위한 고강도 광원 설계와 광학 컴포넌트 조합

n광범위한 테스트 기술 및 측정 매개변수

n소유에서 초과30연간 고해상도엑스선 연사 경험의세Jie는수준 전문가 설계, 제조, 지원공 고객 경험.

Delta-X 연사기의 특징과 장점

자동 제어 광학 시스템:

Delta-X 연사기의 빔에는 다양한 표준 광학 구성 모드가 포함되어 있어 광학 구성이 유연성이 충분하고 조작이 쉽습니다.측정 샘플의 재료 유형에 따라 참조 결정을 선택할 수 있습니다.

n표준 모드: 모든 시스템, 평행 빔 다층막 고반사경

n추가 4가지 옵티컬 시스템 선택 및 설치 가능:

n브래그-브렌타노거울 (Johannson 광학 소자)

n브래그-브렌타노거울 (Johannson 광학 소자) 및 참조 결정체(2차 반사)

n두 개의 독립된 참조 결정(2차 반사): 참조된 결정의 재료 유형과 해상도는 여러 가지 설계를 선택하여 측정할 수 있습니다. 일치하는 해상도.

n두 개의 참조 결정Bartels 모드 설치

n참조 결정 및 고반사 렌즈 모두 자동 전환 가능

n광학 부품이 손상되지 않고 준직 상태에서 벗어나지 않도록 참조 결정체와 고반사경을 연사기에서 수동으로 이동할 필요가 없다.

n프로펠러의 초기 정확도는 작동이 쉽습니다. 장치 내에서 전원을 켤 필요가 없는 안정성엑스선 조작.