웨이퍼 키보드

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개요

개발 또는 소량 생산을 위한 웨이퍼 키조합 시스템 - 대량 생산 장비*와 호환

제품 정보

EVG는 510 웨이퍼 결합 시스템

EVG는 510웨이퍼 결합 시스템

개발 또는 소량 생산을 위한 웨이퍼 결합 시스템-대량의 생산 설비와 호환 *

EVG510은기판에서200개의 mm의 기판 치수입니다.이 도구는 양극, 유리 분말, 용접 재료, 공정, 순간적 액상 및 직접법과 같은 일반적인 웨이퍼 결합 프로세스를 지원합니다.사용하기 쉬운 키조합 챔버 및 공구 설계를 통해 변환 시간 경과 없이 다양한 웨이퍼 크기 및 공정을 빠르고 쉽게 재공구화할 수 있습니다.5분.이런 다기능성은 대학, 연구개발기구 또는 소량생산응용에 아주 적합하다.EVG는대량 제조 도구 (예:EVG GEMINI는) 의 키보드 룸은 설계가 동일하고 키보드 레시피를 쉽게 이전할 수 있어 생산 규모를 쉽게 확대할 수 있다.

특징

* 압력 및 온도 균일성

호환EVG는기계와 광학 조준기

연구 및 파일럿을 위한 유연한 설계 및 구성

단일 칩으로 웨이퍼 형성

다양한 공정 (공정, 용접,TLP는, 직접 접착)

터보 펌프 옵션(<1E-5 mbar>）

양극 키보드로 업그레이드 가능

전환 및 유지 보수가 용이한 개실 설계

프로덕션 호환

고속 가열 및 펌프 사양을 갖춘 고가통

자동 쐐기 보정을 통해 높은 생산량을 실현하다.