W200 웨이퍼 자동 테스트 액세서리

제품 특징:

• 투사, 반사 또는 투사 반사 이중 모드를 개별적으로 선택하여 구매 비용 절감
• 수입 스텝 모터, 수입 광학 소자 를 채택 하다
• 최대 8인치(200mm)의 웨이퍼 지원으로 이형 샘플 브래킷 사용자 정의 가능
• 소프트웨어는 스펙트럼을 자동으로 테스트하고 분석 결과를 표시하기 위해 여러 개의 테스트 지점을 설정합니다.
• 다양한 응용 시나리오에 맞게 테스트 방법, 알고리즘 및 결과 출력 방식을 사용자 정의할 수 있는 맞춤형 소프트웨어

적용 범위:

• 반도체 웨이퍼의 탄소, 산소 함량 분석
• 반도체 웨이퍼의 외연층 두께 측정
• 필터, 도금 샘플의 투과, 반사 자동 테스트
• 다중 샘플의 투과, 반사 대량 자동 테스트