중고 JEOL장 송신 선글라스 SEM + EDX + EBSD의 주요 특징은 침몰식 쇼트키 전자총 기술을 응용한 전기학 시스템이다.GB(Gentle Beam 모드)와 다양한 검출기를 이용해 저가속 전압에서 신호를 고해상도로 관찰하고 선택할 수 있는 TTLS 시스템(Through-The-Lens System);전기 중첩의 혼합식 물경.
제품 정보
중고 JEOL장 송신 선글라스 SEM+EDX+EBSD기술 매개변수
JSM-7200F JSM-7200FLV
해상도
1.0 nm (20kV), 1.6 nm (1kV)
1.0 nm (20kV), 1.6 nm (1kV), 1.8nm (30kV, LV)
배율 확대
×10~×1,000,000 (120mm x 90mm 사진 크기); ×30~×3,000,000 (1280 x 960화소 전시);
가속전압
0.01kV ~ 30kV
속류
1pA ~ 300nA
자동 광맹 제어 렌즈 ACL
내장형
대경심 모드
내장형
검측기
상위 검출기(UED), 하위 검출기(LED)
견본대
5축 모터 구동 샘플대
샘플 이동 범위
X:70mm Y:50mm Z:2mm~41mm 기울기 - 5~+70° 회전 360°
저진공 범위
-
10pa ~ 300pa
중고 JEOL장 송신 선글라스 SEM+EDX+EBSD일본전자 (JEOL) JSM-7200F는 고성능 열장 발사 스캐닝 전자현미경 (FE-SEM) 으로 고해상도와 저전압 관찰 능력을 주력으로 재료과학, 반도체, 나노기술 등 최전방 연구와 산업 품질 검사에 널리 사용된다.
1. 핵심 기술과 장점
침몰식 쇼트키 열장 발사 전자총
플래그십 모델인 JSM-7800F Prime에서 유래한 기술로 높은 밝기와 안정적인 전자 소스를 제공한다.
프로브 전류는 300nA까지 고해상도 영상과 에너지 스펙트럼 (EDS) 원소 분석의 수요를 모두 고려한다.
혼합식 물안경(전자기장 중첩형)
자기렌즈와 정전기렌즈를 결합하면 구차가 더욱 작아지고 해상도가 뚜렷이 제고된다.
기존 out-lens 디자인의 넓은 작업 거리와 사용 편의성을 유지하여 자성 소재를 직접 관찰할 수 있습니다.
TTLS 거울 내 신호 시스템 + GB 부드러움 번들 모드
TTLS(Through-The-Lens System): 저전압에서 약한 신호를 거울 내 탐지기를 통해 효율적으로 수집합니다.
GB(Gentle Beam) 모드: 시료에 편압을 가하여 저가속 전압, 고해상도 이미지를 구현하여 시료의 하전 및 손상을 효과적으로 줄일 수 있습니다.
이차전자(SE)와 배산사전자(BSE) 신호의 동시 분리 채집을 지원한다.
2. 핵심 기술 매개변수
전자총: 쇼트키 열장 발사 (침몰식)
가속 전압: 0.1V – 30kV(연속 조정 가능)
공간 해상도
고전압(15kV): 0.8nm
저전압(1kV): 1.3nm
스트림: 300nA
견본대: 5축 전자동/반자동(X/Y/Z/회전/회전)
표준 탐지기
상위 2차 전자 탐지기(USD)
거울 내 2차 전자/백산란 전자 탐지기(TTLS-SE/BSE)
옵션 기능: EDS 스펙트럼 분석, EBSD 전자 백산란 회절, STEM 투과 모드, 가스 샘플 환경실
