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中华人民共和国上海市虹口区宝山路778号
CTRM750 열반사식 현미경은 나노스코프시스템즈코리아가 반도체 연구 등을 위해 전문적으로 개발한 현미경이다.공초점과 열반사식 모듈을 통합해 시료 표면의 3D 윤곽을 측정하는 동시에 시료 표면의 실제 열 분포를 측정할 수 있다.그 열반사식 모듈은 열반사식의 원리를 사용하여 목표 샘플의 밝기가 온도에 따라 변화하는 값을 수집하고, 함수를 이용하여 열반사계수 (카운터) 를 얻어 열반사계수 (카운터) 를 시스템에 입력하여 측정하면 목표 샘플의 열분포 이미지의 실제 온도 값을 얻을 수 있다.
Features & Benefits(성능 및 이점):
1. 고해상도 무손상 광학 3D 측정
2. 실시간 공초점 이미지
3. 다양한 광학 줌
4. 자동 기울기 보정
5. 이중 Z축 스윕
6. 컴팩트한 모듈 크기
7. 배치 모듈
8. 간단한 조작
주요 기능:
공초점 모듈
1. 3D 프로파일 측정
공통 초점 모드에서 설정Z 방향의측정 범위는 시료 표면의 고선명한 3D 윤곽선 이미지를 얻을 수 있으며 온도에 따라 시료의 표면을 분석할 수 있다팽창 데이터。
2. 실시간 공초점 이미지
Live 모드를 통해 샘플의 실시간 공초점 Video를 내보낼 수 있습니다.
열반사 영상 모듈
1. 동기화
Synchronous 모드에서 이 메서드는 신호 소스의 주기와 카메라의 측정 시퀀스를 일치시켜 열 반사 이미지를 가져옵니다.
2. ASynchronous는
Asynchronous 모드에서는 신호 소스의 생성 주기가 카메라 측정과 관련이 없습니다.이렇게 측정된 이미지는 개별 TRMeter를 통해 열 분포 이미지를 얻습니다.
TRViewer(소프트웨어):

Transient thermal imaging(순간적 이미징)
애플리케이션 필드(Application field):
Specifications(매개 변수):
| 모듈 | |||||
| 물경 | 배율 | 5X | 10X | 20X | 50X |
| 작업 거리 | 34.0 | 33.5 | 20.0 | 13.0 | |
| NA는 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | |
| 공통 초점 시야 범위 | 수평한 (um) | 2800 | 1400 | 700 | 280 |
| 수직(um) | 2100 | 1050 | 525 | 210 | |
| 열 반사 시야 범위 | 수평한 (um) | 1330 | 655 | 332 | 133 |
| 수직(um) | 1330 | 655 | 332 | 133 | |
| 광원 (펄스 LED) | 기초파장 | 430,455,505,530,565,590, 617, 625, 660, 700, 730 nm (12 wavelength) | |||
| 출력 | 120 ~ 3000 mW (파장 의존) | ||||
| 이미지 센서 | 과학적 CMOS | ||||
| 활성 이미지 픽셀 | 2048x2048 픽셀 | ||||
| 활성 열 이미지 픽셀 | 1024x1024 픽셀 | ||||
| 공간 해상도 (가로) | 0.5의 um | ||||
| 열 해상도 | 1 1 11 11 11 1 1 11 1 1 11 1 1 11 1 1 1 11 1 1 11 1 1 1 11 1 1 | ||||
| 열 반사 이미지 모드 | 안정 상태 (비동기 FFT, 4 버켓) 일시적 | ||||
| 순간 모드에서의 시간 해상도 | 50 nsec ~ 1 msec | ||||
| 전기가열판 | 가열 범위 | RT에서 110 110 RT | |||
| 가열/냉각 속도 | · 2분RT에서 90 90 90 ° C까지 열 | ||||
| X, Y, Z 캐리어 | 이동 범위: 18x18x14mm | ||||
| 전동 Z 적재대 | 이동 범위: 60mm | ||||
| X, Y 캐리어는 스캔 헤드 이동에 사용 | 이동 범위: 13x13mm | ||||
| PC는 | 전압 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||
| 전류 | 최대 500W | ||||