스위스 VAT 진공 밸브 - 진공 다중 밸브 장치

스위스 VAT 진공 밸브 - 진공 다중 밸브 장치

스위스 VAT는 진공밸브 제조업체로 고정밀 진공밸브의 설계와 생산에 집중하고 있으며 반도체, 태양광, 평판디스플레이, 과학연구 등 분야에 널리 응용되고 있으며 높은 신뢰성, 장수명, 밀봉성능으로 유명하다.

1. 회사 배경

스위스 VAT는 진공밸브 제조업체로 고정밀 진공밸브의 설계와 생산에 집중하고 있으며 반도체, 태양광, 평판디스플레이, 과학연구 등 분야에 널리 응용되고 있으며 높은 신뢰성, 장수명, 밀봉성능으로 유명하다.

2. 핵심 제품군

(1) 단일 밸브 제품

• 시리즈 모델：

• 각도 밸브(예: VAT 54 시리즈): 고진공(HV) 및 초고진공(UHV) 환경에 적합합니다.

• 패스스루 밸브(예: VAT 47 시리즈): 빠른 진공 흡입에 적합한 저류 저항 설계.

• 게이트 밸브(예: VAT 19 시리즈): 금속 밀봉, 고온 (최대 450 °C) 내성, 반도체 공정 챔버용.

• 조절밸브: 기체 유량을 정확하게 제어하여 공정 압력 조절에 사용한다.

• 기술 매개변수：

• 누출율: <10⁻⁹mbar·l/s(금속 밀봉).

• 재질: 스테인리스강, 알루미늄합금, 표면에 니켈도금 또는 전해포광.

• 구동 방식: 공기, 전동 또는 수동.

(2) 멀티밸브 장치(Multi-Valve Systems)

• 디자인 특징：

• 단일 모듈에 다중 밸브 (예: 분리 밸브, 사이드 펌프 밸브, 메인 펌프 밸브) 를 통합하여 진공 시스템 레이아웃을 단순화합니다.

• 모듈식 설계, 맞춤형 조합 지원(예: VAT Lockfast)®시리즈).

• 빠른 응답 (스위치는 최대 50ms까지 낮음).

• 일반적인 어플리케이션：

• 반도체 부식/퇴적 설비의 다강실 격리.

• 태양광 도금 시스템의 진공 경로 전환.

3. 핵심 기술 우위

• 밀봉 기술：

• 금속 밀봉 (무탄성 재료) 은 고온 및 부식성 환경에 적합합니다.

• 신축성 밀봉 (예: 불소고무) 은 경제적인 응용에 쓰인다.

• 구동 시스템：

• 공기압 집행기는 폭발 방지 설계가 표준이며, 전기 집행기는 PLC 제어를 지원한다.

• 지능형 제어：

• PROFINET, EtherCAT 등의 산업 프로토콜을 지원하여 밸브 상태를 실시간으로 모니터링합니다.

4.일반적인 응용 분야

• 반도체 제조: 웨이퍼 전송 챔버, 부식 장치.

• 태양광 산업: PECVD, ALD 장치의 진공 분리.

• 과학 연구 장치: 동기 방사 광원, 입자 가속기.

• 산업용 진공: 도금기, 열처리 설비.

5. 모델 선택 참조

• 주요 매개 변수：

• 지름 치수(DN16 ~ DN400).

• 압력 범위(대기압에서 10⁻¹mbar까지.

• 호환 가스 (부식성 / 불활성 가스).

• 인증 기준：

• SEMI F47(반도체 장비의 전압 변동 방지 기준).

• CE/UL 인증.

6. 서비스 및 지원

• 맞춤형 설계, 신속한 배송 및 글로벌 기술 지원

• VAT Configurator와 같은 온라인 구성 도구에 대한 액세스 가능성.

스위스 VAT 진공 밸브 - 진공 다중 밸브 장치