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상해무석기계설비유한공사
개요
스위스 VAT 고압 플랭크 밸브 16.2 시리즈 $r$n 제품 개요 $r$n 모델 시리즈: VAT 16.2$r$n$r$n 밸브 유형: 고압 플랭크 밸브(Swing Gate Valve) $r$n$r$n 디자인 특징: $r$r$n90#176;플랭크 암 개폐 메커니즘으로 기존 브레이크 밸브보다 50% 공간 절약 $r$n$r$n 이중 밀봉 시스템(마스터 밀봉 + 비상 밀봉) $r$n$r$n 고압차(≤ 20 bar)와 고진공(10⁻⁹mbar)의 교차 작업 상황에 적용
제품 정보
스위스 VAT 고압 진동식 격리 밸브 16.2 시리즈
1. 제품 개요
모델 시리즈: VAT 16.2
밸브 유형: 고압 플랭크 밸브(Swing Gate Valve)
디자인 특징：
90° 플랭크 암 개폐 메커니즘으로 기존 브레이크 밸브보다 50% 공간 절약
이중 밀봉 시스템 (주 밀봉 + 비상 밀봉)
고압차(≤20bar)와 고진공(10⁻⁹mbar)의 교차 작업 상황에 적용
2. 주요 성능 매개 변수
| 매개변수 | 기술 지표 |
|---|---|
| 압력 범위 | 초고진공(10⁻⁹mbar) ~ 20bar(절압) |
| 온도 범위 | -30°C ~ +150°C(표준) / +250°C(고온) |
| 누락률 | <1×10⁻⁹mbar·l/s(금속밀봉) |
| 밸브 재질 | 316L 스테인리스 스틸(하스 합금 C-276 옵션) |
| 밀봉 재질 | 전체 금속 밀봉 (금/동) 또는 불소 고무 (FKM) |
| 구동 방식 | 공기압 (표준) / 전기 (보조 모터 옵션) |
| 응답 시간 | <1초(DN100구경) |
| 플랜지 표준 | ISO-KF/CF/DN의 ANSI 150#~300# |
3. 핵심 기술 우위
① 플랭크암 디자인
VAT의'Soft-Touch'기술을 적용해 입자 발생 감소(<5 particles/cm³@0.3μm)
기존 브레이크 밸브보다 마모 70% 감소 (수명 > 500000회 순환)
② 이중 이중 밀봉 시스템
주 밀봉: 금속 밀봉 (표준 작업 상태)
비상 밀봉: 빠르게 활성화 가능한 탄성체 밀봉(돌발 압력 파동 시 자동 촉발)
③ 지능형 진단 인터페이스
내장형 밸브 센서(정밀도 ±0.1°)
예측 유지 관리 지원 (진동 / 온도로 밀봉 상태 모니터링)
4. 업계 응용 사례
| 업종 | 일반적인 어플리케이션 | 사용자 정의 요구 사항 |
|---|---|---|
| 반도체 | 각식기 챔버 격리 | Al₂O도금층, Cl₂부식에 내성 |
| 에너지 | 융합 장치 진공 격리 | 자기 없는 설계 (티타늄 합금 어셈블리) |
| 화학공업 | 고압 반응 솥 재료 공급 제어 | 하스합금 밸브, 내산염기 |
| 과학 연구 | 동기 방사 빔선 | 초고진공 호환 (250°C까지 굽기) |
5. 선택 가이드
| 모델 예제 | DN 구경 | 압력 등급 | 밀봉 유형 | 적용 시나리오 |
|---|---|---|---|---|
| VAT 16.2-100-M | DN100은 | 10 바 | 금속 밀봉 | 반도체 장비 |
| VAT 16.2-150-H | DN150의 | 20 바 | 하스 합금 밀봉 | 화학공업고압반응 |
| 세금 16.2-80-XHV | DN80는 | 진공 전용 | 이중 금속 밀봉 | EUV 포토레지스트 |
6. 설치 및 유지 보수
설치 규범：
토크 렌치 필요 (플랜지 볼트 토크는 다음 표 참조)
사용 전 압력 순환 테스트 3회 (0~20bar)
| 플랜지 표준 | 볼트 토크(Nm) | 고정 순서 |
|---|---|---|
| DN100 ISO-KF는 | 12~15 | 십자교차법 |
| 4' ANSI 150# | 60~75 | 성형 점진식 |
유지 관리 계획：
매월: 플랭크 피벗 윤활 상태 확인
6개월마다: 헬륨 스펙트럼 누출 검사 테스트
5년마다: 주 밀봉 부품 교환 (기존 공장 서비스 팩)
납기 참고：
표준 모델: 8~12주
맞춤형 모델: 14~18주
인증 및 표준
SEMI F47 통과(전압 일시적 강하 면역)
ASME BPE-2019 생물공학 표준 준수
CE/PED 2014/68/EU 인증
ISO 15848-1 저누출 인증
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스위스 VAT 고압 진동식 격리 밸브 16.2 시리즈
