스위스 VAT 나비형 제어 진공 밸브 61.3 시리즈 신속 정밀 $r$n 스위스 VAT 고진공 나비형 제어 밸브 61.3 시리즈는 고진공 환경을 위한 정밀 제어 밸브입니다.
스위스 VAT 나비형 제어 진공밸브 61.3 시리즈 신속 정확도
스위스 VAT 고진공 나비형 제어밸브 61.3 시리즈는 고진공 환경을 위한 정밀 제어밸브로, 다음은 상세히 소개한다.1：
제품 특징：
정확한 압력 제어: 0.1초 이내에 응답할 수 있는 빠르고 정확한 동작 컨트롤러를 장착하여 하류 압력을 빠르고 정확하게 제어할 수 있으며, 화학기상침적(CVD)과 원자층침적(ALD) 등 공정에서 정교하게 제어하기에 이상적인 솔루션이다.
열악한 환경에 적응하다.: 공기 흐름에 입자가 포함된 열악한 다운스트림 공정을 위해 고입자 부하와 부스러기가 쌓인 상황에서도 완-전 작동을 유지할 수 있도록 설계되었습니다.
높은 신뢰성: 이 시리즈 밸브는 수천 개의 까다로운 응용프로그램에 설치되었으며 다양한 공정 조건을 통해 검증되었으며 뛰어난 신뢰성을 제공합니다.설계가 견고하고 직접 설치 옵션이 제공되며 유지 관리가 간편하여 운영 비용을 절감할 수 있습니다.
유연성: 다양한 밸브 재료, 표면 처리, 탄성체, 플랜지 연결, 특수 크기 및 특수 제어 알고리즘 (자체 적응, 고정 PI 다운스트림/소프트 펌프) 을 포함한 다양한 설계 옵션을 제공하여 다양한 진공 응용 프로그램에 쉽게 통합할 수 있습니다.
기술 매개변수：
치수: 제공DN 25（1’’）、DN 40（1½’’）、DN 50（2’’）、DN 63（2½'）、DN 80（3'）、DN 100（4'）、DN 160（6'）、DN 200（8'）、DN 250（10'）、DN 320（12'）등 다양한 규격.
밸브 재료: 알루미늄과 스테인리스강 두 가지 재질을 선택할 수 있습니다.
플랜지 연결: 표준 플랜지는 ISO-KF 및 ISO-F이며 고객의 요구 사항에 따라 특정 플랜지를 제공할 수도 있습니다.
압력 범위: 작동 압력 범위는 1 × 10 ⁻⁸mbar ~ 1.2 bar(절-대 압력)입니다.
누설율: 알루미늄 밸브와 스테인리스 스틸 밸브의 누출률은 1 × 10 ⁻mbar・l・s ⁻¹보다 작습니다.
수명: 압력 제어 모드에서는 첫 번째 - 유지 관리 전에 200 만 개의 반복 횟수가 발생합니다.
온도 범위: 밸브 온도 ≤ 150 °C, 컨트롤러 최-고 온도 50 °C(권장 ≤ 35 °C).
스위스 VAT 나비형 제어 진공밸브 61.3 시리즈 신속 정확도
