스위스 VAT 진공 나비 밸브 61.3 - 나비형 제어 밸브

61.3 고진공 나비형 제어 밸브는 뛰어난 압력 제어 성능을 제공할 수 있다.빠르고 정확한 동작 컨트롤러 (0.1초) 로 61.3 나비형 컨트롤 밸브는 CVD 및 ALD 공정에서 정교하게 제어하기에 이상적인 솔루션입니다.밸브판은 밸브 개폐의 유도 특성을 바꾸는 절류 소자 역할을 할 수 있다.61.3 나비형 제어 밸브의 집적 압력 제어기는 필요한 밸브판 위치를 계산하여 가능한 한 빨리 압력 설정을 실현할 수 있다.

이 시리즈 제품은 공기 흐름에 입자가 있는 열악한 하류 공정을 위해 설계되었습니다.입자의 하중이 높고 설계로 인해 퇴적된 부스러기가 존재하더라도 61.3 나비형 제어밸브는 정상적으로 작동할 수 있다.

61.3 시리즈는 이미 수천 개의 다양한 공정 조건에서 까다로운 응용 프로그램에 설치되어 그 신뢰성을 증명했다.61.3 시리즈는 견고한 디자인, 직접 설치 옵션, 단순하고 쉬운 유지 보수로 모든 면에서 신뢰할 수 있습니다.

밸브 재료, 표면 처리, 탄성체, 플랜지 연결, 특수 크기 및 특수 제어 알고리즘 (자체 적응, 고정 PI 다운스트림/소프트 펌프) 에 대한 다양한 설계 옵션은 다양한 진공 응용 프로그램에서 통합을 단순화합니다.