스위스 VAT 고진공 제어 플랭크 밸브 65.5 시리즈

65.5 고진공 제어 플랭크 밸브는 고도로 제어 가능한 유도 스펙트럼을 제공합니다.평온한 열기와 닫기 운동으로 입자 수와 입자 생성 수준이 매우 낮은 것도 주요 특징이다.

이 밸브는 반도체 생산 과정에서의 부식성 각식 및 청결 응용과 같은 가혹한 공정을 위해 설계되었으며, 이러한 응용 프로그램에서는 초기 제어 가능한 흐름 유도가 낮을 때 고도로 제어 가능한 흐름 스펙트럼이 필요합니다.

65.5 고진공 제어 플랭크 밸브의 DN은 250mm(10')로 최소 흐름 유도를 2ls-1로 제어할 수 있다.32비트 드라이브 컨트롤러는 데이터 처리 능력이 뛰어나기 때문에 스트리밍 증가를 매우 정교하게 제어할 수 있습니다.또한 센서 및 제어 명령이 동일한 16비트 컨트롤러에 비해 더 빠르게 처리되므로 더 빠른 구동이 가능합니다.컨트롤러의 다양한 표준 포트 커넥터는 개인용 컴퓨터 또는 프로세스 제어 장치에 연결하여 쉽게 액세스할 수 있습니다.

시계추 밸브판 기구는 매우 견고한 설계를 채택하여 어떤 공예 부산물에도 저항할 수 있도록 확보한다.밀봉 마모를 줄이고 입자 생성 및 생성을 피하기 위해 열고 닫는 운동은 분리됩니다.밸브 받침대에서 멀리 떨어진 수직 운동을 통해 1단계 유도를 구현한 다음 수평 운동에서 시계추 밸브판을 이동시켜 유도를 증가시킨다.밸브판 운동은 제어성이 뛰어나기 때문에 미리 설정된 운동 순서는 공정 요구에 따라 정확하게 조정할 수 있다.밀봉이 닫혔는지 확인하기 위해 통과된 특수 프레스는 밸브판을 밸브 받침대에 눌렀다.이렇게 하면 밸브판의 모든 영역에 밀봉 압력이 균일하게 분포되도록 보장할 수 있다.

65.5 시리즈는 컴팩트한 설계와 직접 설치 옵션, 기타 설계 옵션으로 다양한 진공 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다.

65.5 고진공 제어 플랭크 밸브는 알루미늄 또는 경질 양극 산화 알루미늄을 사용하며 ISO-F 및 JIS 표준 플랜지 커넥터가 있습니다.고객 지정 플랜지를 통합하거나 최대 120 ℃ 의 밸브를 작동시키는 히터로 사용할 수 있습니다.

1. 밸브
2. 드라이브 축
3. 2축 드라이브
4. 드라이브 피드백 밀봉
5. 브레이크 봉쇄