스위스 VAT 고진공 제어 프레스 밸브 65.3 시리즈

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스위스 VAT 고진공 제어 밸브 65.3 시리즈 $r$n 최적화 반도체 및 디스플레이 시스템에서 다운스트림 압력 제어 및 격리 $r$n65.3 제어 밸브는 다운스트림 압력 제어 및 격리에 대한 새로운 표준을 설정합니다.반도체 및 디스플레이 생산 시스템을 위해 설계된 이 시리즈의 압력 제어 진동 밸브는 넓은 흐름 범위 내에서 높은 수준의 제어 가능성을 제공합니다.65.3 제어 압진 밸브는 집적 위치 제어가 있는 전기 기계를 갖추고 있어 개선 기능을 제공할 수 있다.

제품 정보

스위스 VAT 고진공 제어 프레스 밸브 65.3 시리즈

65.3 제어 압진 밸브는 하류 압력 제어와 격리의 새로운 기준을 설정했다.반도체 및 디스플레이 생산 시스템을 위해 설계된 이 시리즈의 압력 제어 진동 밸브는 넓은 흐름 범위 내에서 높은 수준의 제어 가능성을 제공합니다.65.3 제어 압진 밸브는 집적 위치 제어가 있는 전기 기계를 갖추고 있어 개선 기능을 제공할 수 있다.

드라이브 컨트롤러는 32비트 데이터 처리 능력이 향상되어 새로운 제어 기능을 제공합니다.즉, 매우 빠르고 정교하며 정확하게 시계추 밸브 플레이트의 위치를 제어할 수 있으므로 응답 시간이 매우 짧아 매우 정확한 다운스트림 압력 제어가 가능합니다.밸브의 사전 설정 동작 시퀀스는 변화하는 다양한 공정 매개변수에 따라 속도와 경로를 조정할 수 있습니다.65.3 컨트롤 밸브는 입자의 방출도 방지할 수 있다.밸브판은 최적화된 댐핑 닫기 운동을 통해 전통적인 밸브에서 흔히 볼 수 있는 충격과 진동을 피할 수 있다.65.3 컨트롤 밸브의 폐합은 원활하여 닫히고 열리는 것을 거의 감지할 수 없다.밸브판은 매우 정확한 기계 안내를 제공하여 왕복 운동 중의 무접촉 기류 제어를 확보하고 밀봉 운동의 모든 구역 내에서 균일한 밀봉을 실현할 수 있다.

65.3 제어 압력 진동 밸브는 이미 수백 개의 각종 공정 조건에서 요구가 까다로운 응용에 설치되어 그 신뢰성과 성능을 증명하였다.65.3 압력 제어 밸브는 여전히 기존 시스템을 개조하는 이상적인 선택이다.

65.3 제어 프레스 밸브의 크기는 DN 100-350mm(4'-14')이며 알루미늄 또는 경질 양극 산화 알루미늄으로 제작되었으며 ISO-F와 JIS 표준 플랜지 연결이 있습니다.사용자 정의 플랜지를 통합하거나 직접 설치 옵션으로 사용할 수 있습니다.표준 밀봉 재료는 불소 고무이며 요구에 따라 다른 재료를 사용할 수 있습니다.

컨트롤러는 특수 제어 알고리즘 (자체 적응, 고정 PID, 업스트림, 소프트 펌프) 을 사용할 수 있습니다.컨트롤러의 다양한 표준 포트는 개인용 컴퓨터 또는 프로세스 제어 단위(PCU)에 연결하여 쉽게 액세스할 수 있습니다.전용 컨트롤 성능 분석기(CPA) 소프트웨어로 65.3 컨트롤 플랭크 밸브를 쉽게 조정하고 유지 관리 계획을 단순화합니다.

瑞士VAT高真空控压摆阀65.3系列

특징:

빠르고 정확한 압력 제어
충격 작업 없음: 입자 생성 없음
공정 안정성 향상: 모든 트래픽 및 압력 제어
제어 성능 분석기(CPA)가 탑재된 32비트 통합 압력 조절기(IC2)
플러그 앤 플레이 개조: 교정 또는 일치 불필요

이점:

안정성, 정밀도 및 속도
유지 보수 기간 연장
낮은 운영 비용

치수		DN 100 (4'), DN 160 (6'), DN 200 (8'), DN 250 (10'), DN 320 (12'), DN 350 (14')
드라이브		통합 압력 컨트롤러가 장착된 스텝 모터
밸브 재료		알루미늄: 알루미늄 또는 경질 알루미늄
피드백	드라이브 오링	회전 피드백 피드백 패스
표준 플랜지		ISO-F, JIS의
누출률 밸브	알루미늄 경질 양극 산화 알루미늄	< 1 × 10-9mbar ls의-1 < 1 × 10-5mbar ls의-1
누출률 밸브 받침대	알루미늄 경질 양극 산화 알루미늄	< 1 × 10-9mbar ls의-1 < 1 × 10-4mbar ls의-1
압력 범위	알루미늄 경질 양극 산화 알루미늄	1 × 10-8mbar to 1.2 bar(절대 압력) 1 × 10-6mbar to 1.2 bar(절대 압력)
유지 보수 전 스위치 횟수1)	압력 제어 닫기 / 열기	100만 번 20만 번
온도	밸브 컨트롤러	≤ 120 °C 최대 50 ℃ (권장 ≤ 35 ℃)
재료	밸브, 밸브판	EN AW-6061 (3.3211)
	오링	EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568)
	기타 부품	AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301)
밀봉	밸브 덮개, 밸브 패널, 밸브 피드백 부품	불소고무(불소탄성체 포함)
설치 위치		모든 위치

스위스 VAT 고진공 제어 프레스 밸브 65.3 시리즈

상품 번호 65350-JAUH 상품 번호 65346-PHGK 상품 번호 65350-JAUF 상품 번호 65350-JAUE 상품 번호 65350-PACE

상품 번호 65346-PHGN 상품 번호 65340-JAGQ 상품 번호 65340-JAGN

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