- 이메일
- 전화
-
주소
상해시 장녕구 연안중로 188호 2902실
제품 카테고리
상해무석기계설비유한공사
개요
스위스 VAT61.6 - 고진공 나비형 제어 및 격리 밸브 $r$n61.6 HV 제어 나비 밸브는 뛰어난 압력 제어 및 격리 성능을 제공합니다.모든 조건에서 뛰어난 스트레스 제어 및 격리 기능
제품 정보
스위스 VAT61.6 - 고진공 나비형 제어 및 격리 밸브
모든 조건에서 뛰어난 스트레스 제어 및 격리 기능
61.6HV 제어 나비 밸브는 뛰어난 압력 제어 및 격리 성능을 제공합니다.빠르고 정확한 동작 컨트롤러 (0.45초) 를 사용하여 CVD 공정에서 정교하게 제어하고 격리하는 솔루션입니다.나비판은 절류 소자로서 밸브의 전도성을 바꾸었다.61.6의 통합 압력 컨트롤러는 설정된 압력에 최대한 빨리 도달하기 위해 필요한 플레이트 위치를 계산합니다.
61.6 시리즈의 격리 기능은 나비 밸브의 높은 밀봉 마모를 피하기 위해 특별히 설계되었다.그것의 중심 외판축과 밸브와 밀봉좌의 특수한 기하학적 모양을 통해 밀봉마찰이 낮아지고 밀봉성능이 향상되었다.
61.6 시리즈는 이미 수천 개의 다양한 공정 조건에서 까다로운 응용 프로그램에 설치되어 뛰어난 신뢰성을 입증했다.61.6 시리즈는 견고한 디자인과 직접 설치 옵션, 그리고 유지 보수를 줄이고 편리하게 할 수 있어 모든 면에서 우수합니다.
본체 재료, 표면 처리, 탄성체, 플랜지 연결, 밀봉 재료, 특수 사이즈 및 특수 제어 알고리즘 (자체 적응, 고정 PI 하류/소프트 펌프) 방면의 각종 설계 옵션은 61.6 시리즈와 각종 진공 응용의 통합을 간소화시켰다.
61.6HV 제어 나비 밸브는 경질 양극 산화 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 재질과 ISO-KF 및 ISO-F 표준 플랜지 커넥터가 장착되어 있습니다.고객 맞춤형 플랜지와 내장형 히터 및 절연과 같은 특수 기능을 통합할 수 있습니다.요구에 따라 FFKM/FKM 탄성체(FKM 기준)를 제공할 수 있다.
61.6 고압 나비형 제어 및 격리 밸브의 주요 특징
특징:
압력 제어 및 격리
매우 빠른 실행
온보드 소프트웨어, 로컬 실행
열악한 작업 조건에서 안정적인 작동 가능
이점:
공정 제어 기능 향상
긴 가동 시간 / 성능 제한 없음
낮은 운영 비용
스위스 VAT61.6 - 고진공 나비형 제어 및 격리 밸브
| 치수 | DN 40 ('), DN 50 (2'), DN 63 ('), DN 80 (3'), DN 100 (4') |
|
|---|---|---|
| 드라이브 | 스텝 모터가 내장된 컨트롤러, 현장 제어 (foc) | |
| 밸브 재료 | 경질 양극 산화 알루미늄 또는 스테인리스강 | |
| 표준 플랜지 | ISO-KF, ISO-F | |
| 누출율: 밸브 | 경질 양극 산화 알루미늄 스테인리스강 |
< 1 × 10-5mbar ls의-1 < 1 × 10-9mbar ls의-1 |
| 누출율: 밸브 시트 | 경질 양극 산화 알루미늄 스테인리스강 |
< 1 × 10-4mbar ls의-1 < 1 × 10-9mbar ls의-1 |
| 압력 범위 | 경질 양극 산화 알루미늄 스테인리스강 |
< 1 × 10-6mbar 至 1.2 바 (abs) < 1 × 10-8mbar 至 1.2 바 (abs) |
| 유지 보수 전 스위치 횟수1) | 압력 제어 격리 |
200만 번 25만 회(DN 40-50) 10만 번(DN 63-100) |
| 온도 | 밸브 컨트롤러 |
≤ 120 °C 최대 50 ℃ (권장 ≤ 35 ℃) |
| 재료 | 알루미늄 밸브/밸브판 스테인리스 스틸 밸브 / 축 |
EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L(1.4404 또는 1.4435) |
| 밀봉 | 밸브판 피드백 |
불소고무 불소고무 |
| 피드백 | 회전 피드백 | |
| 설치 위치 | 밸브 좌석이 선실로 향하다 |
