조립 전동 모듈

아스타크 반도체 산업조립 전동 모듈반도체 제조 및 관련 정밀 설비를 위해 설계된 전동 솔루션으로, 고정밀 감속기, 정밀 모터, 센서 및 제어 시스템을 통합하여 마이크로미터급 심지어 나노미터급의 운동 제어 정밀도를 실현할 수 있으며, 반도체 공정의 설비 안정성과 정밀도에 대한 가혹한 요구를 만족시킬 수 있다.고조파 감속기, 행성 감속기 등 정밀 전동 기구를 채용하고 고해상도 인코더와 결합하여 ± 1μm 이내의 중복 위치 정밀도를 실현하여 반도체 설비가 웨이퍼 가공, 검측 등 단계에서의 정확한 조작을 확보한다.

아스타크 반도체 산업조립 전동 모듈특징:

슬림형, 컴팩트형

기계, 장치의 소형화, 구조의 단순화를 실현하였다.

내구성이 뛰어난 지원 장치 내장

용도:

반도체 제조 장비: 운반 로봇, 검사 플랫폼

액정 제조 설비: 운반 로봇, 검사 플랫폼

광산업 관련 장치