Spin Dryer 원심분리기 OKK 반도체 웨이퍼 건조기

일본 OKK 오코노미야공업 Spin Dryer SPD 시리즈는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 웨이퍼 원심 탈수 설비로 주로 세척 후 웨이퍼 (2~12인치) 의 고효율, 무오염 건조에 사용된다.이 시리즈 설비는 OKK의 오리지널 자동 평형 기술 (FAB) 과 청정실 호환 설계에 의탁하여 저진동, 고청정도 탈수를 실현하고 입자 오염을 피하며 전도 공정 후의 습법 처리 단계에 적용된다.일본 SPINDRYER 펌프 반도체 산업용 웨이퍼 세척기.

일본 OKK 오미야 코지요 (Omiya Kogyo) SPD 시리즈는 반도체 웨이퍼를 위해 특별히 개발된 고정밀 원심 회전 건조기 (Spin Dryer) 로 주로 웨이퍼 세척 후 고효율, 청정 탈수에 사용되며 반도체 제조 공정에서 핵심 설비이다.

활용 시나리오 및 기술적 이점

핵심 응용: 반도체 웨이퍼 세척 후 탈수, Spin Rinse Dryer (SRD) 시스템과 함께 사용하여"세척 건조"일체화 프로세스를 실현합니다.

반도체 실리콘 웨이퍼(Si Wafer) 세척 후 건조

화합물 반도체(GaAs, SiC, GaN) 웨이퍼 건조

광 마스크/유리 기판, 정밀 전자 부품의 청결 건조

8형, 12형 메인스트림(MainStream)

기술 하이라이트:

FAB(Full Automatic Balancing): dummy wafer 없이 1-25개의 웨이퍼의 무게 차이를 자동으로 균형시킬 수 있습니다.

클린룸 호환: ULPA 필터를 내장하여 깨끗한 공기를 지속적으로 도입하여 입자 오염을 방지합니다.

무진동 설계: 진동 분석 기술을 바탕으로 고정밀 회전을 실현하여 웨이퍼 표면의 완전성을 보장한다.

전형적인 고객: 글로벌 웨이퍼 파운드리 공장, 반도체 패키징 테스트 공장, 마이크로 전자 연구 개발 실험실.

제품 진화와 대체 관계

SPD 시리즈는 OKK 초기 제품 라인으로, 현재 OKH 시리즈 (Horizon형) 와 OKV 시리즈 (Vertical형) 로 점차 대체되고 있다:

OKH 시리즈: 수평식 디자인으로 듀얼/쿼드 캐리어가 동시에 건조되는 것을 지원하며 높은 생산 능력 생산 라인에 적용됩니다.

OKV 시리즈: 수직식 구조로 부지가 작아 연구개발과 소량 생산에 적합하다.

SPD160RN/SPD180RN/H840A/H1120RN/SPD-100/SPD-200/SPD-300/

일본 SPINDRYER 펌프 반도체 산업용 웨이퍼 세척기 OKH-MR세척 + 건조 올인원웨이퍼, 세라믹, 유리, 정밀 부품 원스톱 처리동시에 가압가스 + 미립자화 순수한 물, 6단속 (10~600min ⁻¹), 10가지 공정 레시피를 분사하여 N₂타성 가스를 지원

OKV-600 시리즈(표준 진공 분리)

대표 모델: OKV-600, OKV-600S

포지셔닝: 6형 웨이퍼 / 소형 정밀 부품 진공 건조

핵심 특징

진공 환경 + 원심 회전, 무산소 산화 방지, 저온 빠른 탈수

표준 이온 발생기 + ULPA 필터, 청정도 100 수준

주파수 변조(10–600rpm), 멀티세그먼트, 타이밍 제어

완전 밀봉 SUS316L 캐비티, 전해 연마, 저발진, 내부식

적용 대상: 6인치 웨이퍼, 세라믹 기판, 광학 렌즈, 의료 부품

2. OKV-800 시리즈(대형/중량 진공 건조)

대표 모델: OKV-800, OKV-800SA

포지셔닝: 8/12인치 웨이퍼, 대형 / 대량 가공소재 진공 건조

핵심 특징

고강성 캐비티, 고정밀 동평형, 중량 적재 저진동

진공 + 열 공기 흐름 이중 모드, 균일한 건조, 효율성 향상

자동문, 안전 잠금, 진공 누출 검사

N₂ 불활성 가스 교환 지원, 산화 방지 강화

적용 대상: 12형 웨이퍼, 대형 기판, 대량 정밀 구성 요소

3. OKV-MR 시리즈(진공+세척 일체형)

대표 모델: OKV-MR

포지셔닝: 진공 환경에서 세척 + 건조 일체화

핵심 특징

진공 챔버 내 동시 완성 미립자화 세척 + 진공 원심 건조

전 과정 에 산소 가 없어 산화 와 이차 오염 을 근절 하다

다재질 가공소재에 적합한 10가지 공정 설계도

적용: 고가치 산화 정밀 부품 원스톱 처리

Spin Dryer 원심분리기 OKK 반도체 웨이퍼 건조기

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