Sensofar 공초점 현미경의 핵심은 공초점 원리에 기초하여 세로 해상도와 잡산광을 억제하는 능력을 실현할 수 있다.Sensofar는 각 측정점의 Z축 높이를 정확하게 결정하여 최종적으로 샘플 표면의 실제 3D 형태를 재구성할 수 있습니다.
Sensofar 공초점 현미경의 핵심 포지셔닝은 비접촉식 3D 광학 표면 윤곽계이다.그것은 현미경일 뿐만 아니라 고정밀 계량 기기이기도 하다.그 뚜렷한 특징은 여러가지 광학측정기술을 일체화하여 사용자가 견본의 특성에 따라 같은 설비에서 가장 적합한 측정모식을 빈틈없이 전환하여 정확한 수치를 얻을수 있다는것이다.신형 Sensofar 공초점 현미경 S neox는 기존 3D 광학 프로파일러보다 성능, 기능, 효율 및 디자인 면에서 우수한 차세대 공초점 현미경 측정 시스템이다.
놀라운 측정 속도
새로운 지능형 및 자체 알고리즘과 새로운 카메라를 사용하여 놀라운 측정 속도를 달성합니다.데이터 수집 속도는 180fps입니다.표준 측정 채집 속도는 이전보다 5배 빠르다.신형 Sensofar는 현미경 S neox에 초점을 맞추어 시장에서 속도가 매우 빠른 표면 측정 시스템이 되었다.
사용 편의성
Sensofar는 고객에게 가장 놀라운 경험을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.5세대 S neox 공초점 현미경 시스템이 탄생함에 따라 사용하기 쉽고 직관적이며 빠른 것이 목표입니다.초보자라도 클릭 한 번으로 측정을 조작할 수 있다.모듈식으로 설계된 소프트웨어는 시스템이 사용자의 다양한 요구에 부응하도록 한다.
품질 관리
풍부한 자동화 모듈로 간편한 품질 관리
양적 통제.운영자 액세스 제어, 측정 프로그램 저장, 호환성부터 바코드/QR 리더기, Dell의 독점 SensoPRO 소프트웨어의 사용자 정의 플러그인까지 분석 보고서를 자동으로 생성할 수 있습니다.QC 환경에서 작동하는 Dell의 최적화 솔루션은 유연하고 사용하기 쉬운 인터페이스를 갖추고 있으며 프로그래밍과 24시간 작동이 가능합니다.
연구 개발
Sensofar의 3-in-1 접근 방식 - 클릭 한 번으로 시스템이 현재 측정 작업에 적합한 스캔 모드로 전환됩니다.S neox 센서 헤드에 총 초점, 간섭, Ai 다초점 중첩 등 세 가지 측정 기술을 구성하면 시스템의 다기능성에 중요한 기여를 하고 데이터 수집에서 노이즈를 매우 효과적으로 줄일 수 있습니다.S neox는 모든 랩 환경에 이상적이며 광범위하게 적용됩니다.
에이 다초점면 중첩 뉴!
액티브 조명 다초점면 중첩은 크고 거친 표면의 모양을 측정하기 위해 개발된 광학 기술이다.이 기술은 총 초점 및 간섭 3D 측정 분야에서 Sensofar의 광범위한 전문 지식을 바탕으로 낮은 증폭률에서의 측정을 보완하기 위해 특별히 설계되었습니다.능동 조명을 사용하여 광학적으로 매끄러운 표면에서도 더 신뢰할 수 있는 측정 데이터를 얻을 수 있도록 개선했습니다.이 기술의 주요 특징은 경사가 높은 표면 (최대 86º), 더 빠른 속도 (mm/s), 더 큰 수직 범위 측정입니다.
공통 초점
공초점 프로파일러의 개발 목적은 매끄러운 표면에서 매우 거친 표면까지의 표면 높이를 측정하는 것이다.총 초점 아웃라인은 0.14 μm 수평 해상도로 더 나은 가로 해상도를 제공하며 공간 샘플링은 핵심 치수 측정에 이상적인 0.01 μm로 줄일 수 있습니다.최대 NA(0.95) 및 확대 배율(150X)의 대물렌즈는 70° 이상의 부분 기울기를 가진 매끄러운 표면을 측정하는 데 사용될 수 있습니다.거친 서피스의 경우 86 ° 를 허용합니다.자체 공초점 알고리즘은 나노미터 척도상의 수직 반복성을 제공한다.
간섭
광학간섭은 참고경과 견본에서 발생하는 두 빔의 반사광선이 0광거리 차에서 간섭하는 현상을 이용하여 3차원 간섭 도안(간섭도)을 생성하는 것으로 견본의 표면 형상에 대한 정보를 포함한다.이 방식의 각종 변화는 구체적으로 다른 응용에 사용할 수 있다.
박막
박막측량기술은 광학투명층의 두께를 신속하고 정확하며 손상없이 측정하며 견본제조가 필요하지 않다.이 시스템은 가시광선 범위 내 샘플의 반사 스펙트럼을 획득하고 소프트웨어가 계산한 아날로그 스펙트럼과 비교하여 일치하는 두께를 정확하게 찾는다.1초도 안 되는 시간에 50nm에서 1.5μm의 투명막을 측정할 수 있다.측정 반점은 렌즈 증폭률에 따라 달라지며 범위는 0.5 μm에서 40 μm까지입니다.
LED 광원의 이점
LED로 조명 광원을 만드는 것이 레이저를 사용하는 것보다 더 유리하다.우선 LED 광원은 레이저 광원의 산반 현상을 피할 수 있다.다음으로 LED 광원의 수명은 약 50000 시간 (레이저보다 약 25 배) 입니다.가장 중요한 것은 여러 개의 LED가 샘플의 요구에 따라 적합한 파장을 선택하여 측정할 수 있다는 것을 의미한다.
추적 가능한 정확한 측정
모든 SNEOX는 정확하고 추적 가능한 측정을 위해 설계되었습니다.장치는 ISO25178의 Part 700 및 Part 600 표준을 준수하는 추적 가능한 표준 블록을 사용하여 보정됩니다.높이 및 수평 정밀도, 평면도 편차, 시스템 해상도를 포함한 모든 지표는 이러한 표준 블록을 측정합니다.우리는 모든 측정 설비가 이 표준에 따라 집행하는 것을 견지한다.
SNEOX는 출하되기 전에 계량되고 추적 가능한 표준 블록을 사용하여 교정되며 표준이 충족되었는지 확인해야 출하됩니다.SENSOFAR는 장치와 함께 측정 정밀도 및 반복성에 대한 검사 보고서를 첨부합니다.
ISO 표준
고해상도
수직 해상도는 계측 소음의 제한을 받는데, 계측 소음은 간섭 측정에 고정되어 있지만, 공초점 측정에 의존하는 수치 공경이다.Sensofar 독점 알고리즘은 광학 기기의 더 나은 가로 해상도로 측정 기술에 나노 레벨 시스템 노이즈를 제공합니다.보이는 형태는 아나미늄(0.3nm) 원자층이다.PTB에서 제공합니다.
DIC 관찰
미분 간섭(DIC)은 정상적인 관찰에서 명암비가 없는 매우 작은 높이 특성을 강조하는 데 사용됩니다.Nomarski 프리즘을 사용하여 간섭 이미지를 생성하여 명시적 또는 공통 초점 이미지에서 보이지 않는 나노 레벨 구조를 해결합니다.
Sensoafar 총 초점 현미경 S neox 소프트웨어 시스템 SENSOSCAN
부팅 시스템
SensoSCAN은
소프트웨어는 명확하고 직관적이며 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 시스템을 구동합니다.
사용자는 좋은 사용자 경험을 위해 3D 환경을 탐색하도록 부트됩니다.
샘플 탐색
사용자가 측정 준비 중에 샘플을 검사하고, 수집하기 전에 측정 위치를 검사하고, 자동화 절차를 수행할 수 있도록 도와주는 개요 도구.테스트 진행 상황을 항상 파악하여 고배율 측정을 단순화할 수 있습니다.
자동 3D 기능
3D 자동 기능, SensoSCAN 소프트웨어 선택
정확한 조명과 적절한 측정 범위가 자동으로 결정됩니다.
그런 다음 선택한 측정 유형을 수행합니다.따라서 몇 초 이내에 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다.
분석 및 보고
또한 분석 템플릿을 생성하여 중복 측정에 예약된 필터 및 운영자 구성을 적용할 수 있습니다.
마지막으로, 3D 데이터, 2D 아웃라인 및 모든 ISO 매개변수를 포함하여 각 측정에 대한 명확하고 구조적인 보고서를 생성합니다.
자동화 프로그램 모듈
자동 측정 모듈을 통해 고객은 보다 쉽게 사용자 정의 프로그래밍을 수행하고 품질 관리 및 테스트 목표를 달성할 수 있습니다.측정 점 좌표를 수동으로 설정하거나 가져온 좌표 파일, 각 좌표나 볼륨에 대한 측정 프로그램을 설정하고 자동 이미지 인식 비트를 설정하여 공차 범위를 정의하고 출력 형식을 보고하면 모든 프로그래밍 작업이 완료됩니다.
다중 프로그래밍 측정
SNEOX는 새로운 프로그래밍 방식을 설계했습니다.즉, 동일한 구조 또는 제품 유형을 자동으로 식별하여 측정 지점과 프로그램이 동일한 위치에서 복제됩니다.이것은 프로그래밍의 효율을 크게 향상시키고 인원이 프로그래밍하는 시간을 절약할 것이다.
자동으로 자리맞춤
영상을 통해 대위점을 자동으로 식별하고 자동으로 위치를 보정하여 아무도 관여하지 않는 완전 자동화 측정을 실현하였다.수동 추출 검사하던 데스크탑을 수동으로 슬라이스만 넣으면 자동으로 측정되어 보고되는 반자동 감지 장치로 탈바꿈시킵니다.비트 포인트에 대한 자동 인식 기능도 오프라인 표본검사 설비가 인더스트리 4.0으로 나아가기 위해 반드시 갖추어야 할 능력이다.
최대
500 Mpx의
확장 측정 모듈
SensoSCAN의 확장 측정 모듈을 사용하면 개요 이미지를 통해 표면에 측정 레이아웃을 쉽게 정의할 수 있습니다.측정 영역은 필요한 직사각형, 원형 또는 원형 영역으로 자동 트림될 수 있습니다.최대 5억 화소의 대면적 측정에 적합합니다.각 뷰포트에 대한 자동 초점 또는 초점 추적과 같은 다양한 스캔 정책을 제공하여 수직 스캔 범위를 최소화합니다.
강력한 분석 소프트웨어
3D 및 2D 대화형 뷰는 다양한 배율, 디스플레이 및 렌더링 옵션을 제공합니다.3D 또는 2D 측정의 초기 검사 및 분석을 위한 전체 도구 세트를 제공합니다.임계 치수, 각도, 거리, 지름을 측정하고 새 주석 도구를 사용하여 특성을 강조 표시합니다.
빠른 품질 관리
생산 라인에서 신속한 품질 관리를 수행하는 것이 이렇게 간단해 보이지 않았다.SensoPRO 덕분에 생산라인 운영자는 샘플을 로드하고 안내식 지침을 따르기만 하면 됩니다.플러그인 기반 데이터 분석 알고리즘은 높은 유연성을 제공합니다.새로운 모듈은 다른 업계의 요구 사항에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다.
고급 분석 소프트웨어
SensoMAP은 Digital Surf의 Mountains 기술을 기반으로 개발된 강력한 분석 및 보고 도구입니다.SensoMAP 소프트웨어는 고객의 요구에 맞게 모듈화되었습니다.SensoMAP은 두 단계(표준 및 고급)와 여러 모듈(2D, 3D 또는 4D 모듈, 고급 프로파일, 입자 및 입자, 통계 및 결합)을 제공합니다.