스펙트럼 타원형 박막과 표면의 빠른 검측을 참고하다

Accurion RSE는스펙트럼형 비교 타원형

스펙트럼형 참비 타원형 기기(RSE)는 품질 제어에 사용되는 고속 두께 mapping으로 설계되었다.0.1 nm ~ 10 & micro를 정확하게 측정할 수 있습니다.m의 두께감.초당 200개의 완전한 스펙트럼을 기록하여 12분 동안 100mmx 100mm의 영역을 연구하고 67000개의 스펙트럼을 동시에 얻을 수 있다.

RSE는 참조 샘플과 측정 된 샘플을 비교하여 측정 된 샘플의 차이를 측정하여 측정 된 샘플을 타원형으로 분석하는 특수 유형의 타원형 기기입니다.측정 과정에서 회전하거나 변조해야 할 광학 부품이 없으며, 단일 측정에서 완전하고 고해상도의 스펙트럼 타원형 데이터를 얻을 수 있다.일반적으로 초당 200개의 스펙트럼 타원형 데이터를 수집할 수 있다.동기화된 X/Y 2D 자동 샘플대를 통해 대면적의 샘플을 얻을 수 있는 박막 두께 분포도를 몇 분 안에 측정할 수 있다.참조 보상 시스템은 여전히 타원형 기기의 원리이기 때문에 굴절률과 박막 두께와 같은 광학 매개변수를 얻기 위해 측정 데이터를 광학 모델에 맞춰야 합니다.빠른 데이터 처리 속도를 위해 검색 테이블 맞춤을 구현했습니다.측정하기 전에 찾기 테이블이 계산됩니다.그런 다음 측정 데이터를 실시간으로 고해상도로 맞출 수 있습니다.

주요 기능:

• "단회" 비교 스펙트럼 타원형 측정

• 초당 200개의 전체 스펙트럼 타원형 데이터

• 필름 두께 평가를 위한 실시간 데이터 처리

• 반점 크기: 50 x 100um(입사각 = 60도)의 미세 반점

• 박막 두께 측정 범위: <1nm~10um

• 스펙트럼 범위: 450~900nm

적용:

• 웨이퍼 체크

• 오염물 검사

• 초박막과 중간층의 두께

• 투명 기판의 얇은 층

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