ROHS 금속 성분 분석기

　　ROHS 금속 성분 분석기(SXES: Soft X-Ray Emission Spectrometer)는 새로 개발한 회절 래스터와 고감도 X선 CCD 카메라를 조합해 높은 에너지 해상도를 구현했다.

EDS와 마찬가지로 병렬 감지가 가능하며 WDS의 에너지 해상도를 능가하는 0.3eV(페르미 쪽 Al-L 기준)의 높은 에너지 해상도로 분석할 수 있다.

　　ROHS 금속 성분 분석기시스템 소개: 연사 래스터 또는 검출기 (CCD) 를 이동하지 않고도 다양한 에너지의 스펙트럼을 동시에 얻을 수 있도록 설계된 최신 분광 시스템.또한 에너지 해상도가 높기 때문에 상태 분석 분포도를 채집할 수 있다

SXES, WDS, EDS의 다양한 분광 방법 중 질화 티타늄 샘플의 스펙트럼 비교

WDS 분석에서도 질화 티타늄의 스펙트럼 피크가 중첩되어 볼륨을 제거하는 수학적 방법으로 처리해야합니다.다음 그림과 같이 SXES는 에너지 해상도가 높습니다.

　　비교 테이블

피쳐	SXES는	EPMA(WDS)	EDS는
해상도	0.3의 eV (페르미 쪽 Al-L)	8 eV (FWHM@Fe-K）	120-130의 eV (FWHM@Mn-K）
화학 결합 상태 분석	가능	지원 (주로 라이트 요소)	안 돼
병렬 체크	가능	안 돼 분광기 대수 범위만 지정하면 됩니다	가능
분광 결정 및 검출기	회절 래스터 + CCD	분광결정 + 정비례 계수관	SDD는
감지기 냉각	펄프 냉각	필요 없음	펄프 냉각
테스트 한계 (B 참조)	20ppm의	100ppm의	5000ppm의

리튬 이온 이차전지(LIB) 분석 사례

LIB의 충전량이 보여요.

　　충전 후 Li-K 샘플의 스펙트럼

설명: 이론적인 원인으로 인해 산화 리튬의 검측은 매우 어렵다

라이트 요소의 테스트 인스턴스

SXES 테스트 탄소 화합물의 인스턴스

금강석, 흑연, 폴리머의 차이를 테스트할 수 있다.

각종 질소 화합물의 테스트 실례인 질소도 파형에 따라 화학적 결합 상태를 분석할 수 있다.질산염은 질소화물과 파형이 달라 전자빔에 손상되기 쉬운 암모늄염의 파형도 관찰할 수 있다.