플라즈마 처리 시스템

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모델

제조업체의 성격: 생산자

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개요

플라즈마 처리 시스템은 실험실의 필요에 따라 전문적으로 개발된 소형 데스크탑 플라즈마 세척기이며, 처리실은 원통형 석영 유리이고, 프로세서는 커패시터 결합 외전극형이며, 내부에는 전극이 없다.

제품 정보

제품 소개: VPS-RF05는 소형 데스크톱형 진공 플라즈마 처리기로, 진공 상태 (약 10~100pa) 에서 기체에 전장을 가하는 원리이며, 기체는 전장에서 제공하는 에너지 하에서 기체 상태에서 플라즈마 상태 (물질의"제4상태"라고도 함) 로 전환되며, 그 중에는 대량의 전자, 이온, 광자와 각종 자유기 등 활성 입자가 함유되어 있어 일반적인 화학 반응보다 더 많은 활성 재료, 표면의 활성 반응이 발생한다.이러한 고에너지 입자와 활성 입자를 이용하여 재료 표면과 물리 또는 화학적 반응을 일으킴으로써 재료 표면의 성질을 변화시키는 목적을 달성한다.

플라즈마 처리 시스템특징: 플라즈마 전원 회로 기술, 방전 구조를 수입하여 플라즈마의 균일한 분포를 확보한다.

플라즈마 처리 시스템응용: 표면 유기물 제거, 접착성 향상, 표면 윤습성 향상, 생물 상용성 향상, 표면 에너지 향상, 표면 거친도 개선.

等离子处理系统

제품 매개 변수:

모델	VPS-RF05
주파수	13.56MHz 자동 임피던스 일치
전력	0-200W 연속 조정 가능
캐비티 재질	수입급 316L 스테인리스강
강체 용적	5L
캐비티 크기	Φ150(지름)×280(D)
유효 처리 영역	140 (W) *250 (D) mm
가스 유량 컨트롤러	MFC 품질 트래픽 컨트롤러
가스 회로 수량	2번 가스, 상용 O2, Ar2, N2, H2, 등 (부식성 가스는 맞춤형으로 제작해야 함)
진공 측정 시스템	필라니 진공규소관
극한 진공도	1Pa
제어 방법	4.3인치 터치스크린 + PLC
진공 펌프	오일 펌프 / 드라이 펌프 (옵션)
전원 공급 장치	AC220V/50Hz의
외형 치수	550mm (L) ×450mm (W) ×500 mm (H)

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