OSMS 시그마 옵티컬 XYZ 3축 자동 슬라이더 변위

OSMS 시그마 옵티컬 XYZ 3축 자동 슬라이더 변위고강성·고정밀도에 적용되는 측정장치나 검사장치용 스텝모터형 자동플랫폼으로 궤도단면이 U자형으로 자중이 가볍고 강성이 좋다.

OSMS 시그마 옵티컬 XYZ 3축 자동 슬라이더 변위대는 시그마 옵티컬 XY 축과 Z 축이 직접 조립된 콤보 변위대이며, XY 축은 XYZ 3축 변위대 2개와 Z 축 1개로 조립할 수 있는 XYZ 3축 변위대이다.

현재 판매되고 있는 표준 모델은 6개로,OSMS20-35(XYZ)、OSMS20-35(XYZ)-M6、OSMS20-35(XYZ)-INCH、OSMS20-85(XYZ)、OSMS20-85(XYZ)-M6、OSMS20-85(XYZ)-INCH，앞의 세 모델의 여정은 35mm, 뒤의 세 모델의 여정은 85mm이며, 플랫폼의 면 사이즈는 모두 85 * 85mm이며, 직경≥6mm, 도정 1mm의 롤러 슬래시, U형 외부 레일을 사용한다.

OSMS 시그마 옵티컬 XYZ 3축 자동 슬라이더 변위대 해상도(전체 단계) 2μm/펄스, 해상도(반 단계) 1μm/펄스, 위치 정밀도 10μm<35mm 스트로크>, 20μm<85mm 스트로크>, XY축 수직도 5μm, Z축 수직도 25μm<35mm 스트로크>, 30μm<85mm 스트로크>.자세한 내용 > > 핀창몰