비구면 측정기

핸드폰 렌즈의 규격 진화
전 세계 스마트 폰 (Smartphone) 시장이 빠르게 성장하여 핸드폰 렌즈 수요를 이끌고 있다. 그 주류 규격은 줄곧 VGA 등급에서 200만, 300만, 500만, 800만 화소 등급으로 업그레이드되었다. 2012년까지 애플 (Apple), 삼성전자 (Samsung, Electronics), 훙다뎬, 소니 행동 통신 (Sony, Mobile Communicationications), 그리고 ZTE, 화웨이 화소 등 주류 스마트폰 제조업체도 이미 1200만 화소 등급을 출시하였다.

렌즈 설계가 갈수록 복잡해져서, 공차가 갈수록 정교해지도록 요구한다.

• 비구면 형상 오차는 VGA의 10um에서 현재 1600만 화소의 0.05um이다.

• 메커니즘은 점점 더 복잡해지고 있으며, 요구되는 치수 오차는 과거의"항목"등급에서 um 등급, 심지어 sub-um 등급으로 요구되기 시작했습니다.

• 불확실한 요소가 갈수록 많아지고 양률도 갈수록 낮아진다.

Compass - 새로운 개념의 비접촉식 비구면 측정 장치

1.전체 3D 비접촉식 비구면 측정 설비.
2. Low noise는 접촉식 측정 장비가 스크래치와 진동으로 인한 오차가 거의 없다.
3. 접촉식 계량 측정이 존재하지 않는다. 계량 측정 upward/downward로 인한 궤도 오차.
4. 접촉식 측량 프로브의 R값 오차로 인한 보정 오차는 존재하지 않는다.
5. 접촉식 양적 측정은 구면을 탐침으로 보정하여 초래된 비구면 외연의 큰 각도의 상차가 존재하지 않는다.
6. Compass는 렌즈형 PV와 사이즈의 측정을 제공한다.
7. 1.4k x1.4k@300Hz초고CCD 해상도.

Compass performance의 탁월한 성능:

1. Compass는 5축 stage를 제공하여 임의의 각도 측정으로 회전하여 측정이 사각지대가 없도록 한다.
2.측정은 전체 3D data를 획득, 중심 궤도 편차 문제가 없습니다.
3.비접촉식 백광량 측정, 탐침 R 값을 보정해야 하는 문제가 없다, 측정 결과 Tip radius error의 존재 문제가 없을 뿐만 아니라 탐침이 부러지는 소모품 문제도 없을 것이다.
4.측정 범위는 고정밀 Pizeo 범위이며 Z축 해상도는 최대 0.01nm,
재현성 0.008nmRMS.