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개요
1단 밸브마다 3단 밸브 2개를 장착해 설치 공간을 줄였다.입, 배기구의 배출 위치를 선택할 수 있어 배관의 자유도를 높였다.【적용 실린더 지름: Φ4~Φ16】업계 반도체 제조 공정(전공정) 화학 액체 공급 설비용 소자 화학 가스 공급 설비용 소자 질소 가스 세척 관련 소자
제품 정보
[소형화]
직접 설치 시 높이 34mm.
DIN 레일은 39mm 높이로 설치됩니다.
좁은 공간에도 설치할 수 있습니다.
【패널 설치 가능】
입, 배기구의 배출 위치를 선택할 수 있어 배관의 자유도를 높였다.
[플랫 케이블, D-Sub 플러그인]
플러그인을 꺼낼 방향은 위쪽, 가로쪽에서 선택할 수 있습니다.
| 모델 | 이름 | 설치 방법 | 배관 구경 | 설명 |
|---|---|---|---|---|
| N3Q0660 | 밸브 모듈 단일 | DIN 레일 설치 방법 | 빠른 플러그 Φ1.8, Φ3, Φ4, M5 | |
| MN3Q0660 | 모듈 통합 밸브 | DIN 레일 설치 방법 | 빠른 플러그 Φ1.8, Φ3, Φ4, M5 | |
| MT3Q0660 | 모듈 통합 밸브 | 직접 설치 방법 | 빠른 플러그 Φ1.8, Φ3, Φ4, M5 |
