MTS 시리즈 3D 형상 측정 장치

MTS 시리즈 3D 형상 측정 장치: 스펙트럼 코크스 센서 구조

스펙트럼 공초점 변위 센서는 광학 색산원리를 통해 거리와 파장 간의 대응 관계를 구축하고 스펙트럼 기기를 이용해 스펙트럼 정보를 디코딩해 위치 정보를 얻는 장치다.

스펙트럼 초점 변위 센서 시스템에서

시스템의 측정 범위는 다음과 같은 4가지 요소로 구성됩니다.

1. 광원 스펙트럼 분포 범위

2. 분산 렌즈의 작동 주파수 범위 내의 축방향 색차

3. 분광기의 작동 주파수 대역

4. 광섬유 결합기의 작동 주파수 대역

스펙트럼 코크스 이점

다기능 스펙트럼 코크스 센서

Google의 광 다이내믹 코크스 센서는 고품질 광학 렌즈를 통해 단일 점이 아닌 다른 거리에서 백색에 초점을 맞추며 모든 가시 광선 대역이 초점에 있습니다.이런 다기능의 광학 센서는 측문 기술에 새로운 차원을 열었다.

· 모든 재료 테스트 가능 - 비투명/투명 재료, 난반사/반사, 흡수, 컬러, 거친/광택

· 동축 테스트로 섀도우의 영향 방지

· 경사면 수용도 및 수치 공경으로 인해 측정 가능한 각도는 반사 표면에서 45 °, 분산률 표면 > 80 °

· Z축 해상도 및 정밀도 - 테스트 결과를 얻기 위해 Z축 스캔이 필요하지 않으며 각 테스트 지점에서 테스트 값을 전달할 수 있습니다.

· 초고속 테스트 속도의 다중 점 선진 센서는 다중 점 평행 테스트를 허용한다

· 작고 고정된 반점 크기로 높은 가로 해상도 구현

· 광학 프로브가 패시브되어 부품을 이동하거나 전원을 내장할 필요가 없음

로우 - 높은 열 안정성, 긴 안정성 및 반복성 보장

측정 비교

디지털 현미경

-표면 형태는 깊이 중첩이 필요하며 속도가 느리다-시야가 작다

- 스캔 정밀도는 Z축 모터와 대물렌즈 깊이에 따라 다름

레이저 공중초점 현미경

- 표면 형태는 층층이 스캔해야 하며 속도가 느리다 - 시야가 작다

- 인위적인 데이터 측정

삼각반사형 클래스 스펙트럼 코크스

- 낮은 Z축 해상도

- 블라인드가 발생하기 쉬운 스캔

- 투명 재질과 거울 재질이 좋지 않음

백광 간섭

- 높은 사용 및 유지 관리 비용

- 큰 샘플과 기복이 심한 샘플은 적합하지 않음

- 표면이 비교적 거친 견본에는 효과가 없다

MTS 이점

비접촉식 무손실 측정

최대 20nm의 Z축 해상도

더 빠른 피치 오버레이가 필요 없음

샘플 표면 반사율 제한 없음

표면 3D 전체 정보 제공

스캔 영역 사용자 정의 가능

Q-DTS 액세스 가능

시리아유 AI 접속 가능

MTS 시리즈 3D 형상 측정 장치기술 매개변수

① 2kHz 이상, 주파수 증가에 따른 테스트 스레드 감소

② 20°C에서 수직 거울 측정

주어진 데이터는 일반적인 애플리케이션의 테스트에서 파생되며 다른 특정 시나리오의 테스트와 차이가 있습니다.이후의 인쇄 오류, 수정, 업데이트는 테이블에 나열된 기술 매개변수와 다를 수 있습니다.따라서 테이블에서 이 제품이 제공한 기술적 매개변수, 측정 결과 및 정보의 일관성은 보장되지 않습니다.